[发明专利]用于离子源的灯丝、离子源及离子注入机

权利要求书

1.一种用于离子源的灯丝，所述灯丝能够在通电时释放热电子，所述灯丝的两端分别用于与电源连接，其特征在于：所述灯丝包括三个扭转部，位于中间的所述扭转部呈单重螺旋环状，位于两侧的所述扭转部呈多重螺旋环状，中间的所述扭转部形成的环的直径比两侧的所述扭转部形成的环的直径大。

2.如权利要求1所述的用于离子源的灯丝，其特征在于：两侧的所述扭转部形成的螺旋环的间距比所述扭转部的直径大。

3.如权利要求1所述的用于离子源的灯丝，其特征在于：所述灯丝靠近所述电源的两端的截面的直径比所述扭转部的截面的直径大。

4.如权利要求1所述的用于离子源的灯丝，其特征在于：所述扭转部的直径为1.5~2.4mm，所述灯丝靠近所述电源的两端的直径为2~3mm。

5.如权利要求2所述的用于离子源的灯丝，其特征在于：中间的所述扭转部形成的环的中心与两侧的所述扭转部形成的环的中心的距离相等。

6.如权利要求5所述的用于离子源的灯丝，其特征在于：中间的所述扭转部形成的环的直径为5~8mm，两侧的所述扭转部形成的环的直径为2~4mm。

7.如权利要求6所述的用于离子源的灯丝，其特征在于：两侧的所述扭转部形成的环的中心的距离为8~10mm。

8.如权利要求3所述的用于离子源的灯丝，其特征在于：所述灯丝靠近所述电源的两端的向所述扭转部的过渡段的表面与中心轴的角度为140°~160°。

9.一种离子源，包括腔体、进气口、斥拒极及陷电极，所述进气口开设于所述腔体的侧壁上，所述斥拒极及所述陷电极间隔固定于所述腔体内，其特征在于，所述离子源还包括如权利要求1-8任意一项所述的灯丝。

10.一种离子注入机，包括质谱仪及加速器，质谱仪用于选出所需要的掺杂离子，所述加速器用于加速由所述质谱仪选出的掺杂离子到所需求的高能量，其特征在于，所述离子注入机还包括如权利要求9所述的离子源，所述离子源与所述质谱仪连接，并产生掺杂离子。