[发明专利]采用MOCVD工艺制备REBCO高温超导带材的方法

权利要求书

1.一种采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，包括以下步骤：

S1、将金属有机源送至雾化器(100)，使所述金属有机源雾化；

S2、将雾化后的金属有机源送至蒸发器(200)，使其蒸发成金属有机源气体；

S3、将所述金属有机源气体送至MOCVD反应室(300)，制得REBCO超导薄膜；

所述雾化器(100)包括：

内管(101)，

套于所述内管外的外管(102)，

由所述内管的管腔形成的内流道(103)，以及

形成于所述内管和所述外管之间的外流道(104)；

其特征在于，

在所述步骤S1中，将金属有机源溶液通入所述内流道(103)并从所述内流道(103)的输出口喷出，将金属有机源溶剂通入所述外流道(104)并从所述外流道(104)的输出口喷出，并冲刷所述内流道(103)的输出口。

2.根据权利要求1所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，在所述步骤S1中，将所述金属有机源溶液与惰性载气同时通入所述内流道(103)并从所述内流道(103)的输出口喷出。

3.根据权利要求1所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，在所述步骤S1中，将所述金属有机源溶剂与惰性载气同时通入所述外流道(104)并从所述外流道(104)的输出口喷出。

4.根据权利要求2或3所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，所述惰性载气为氩气。

5.根据权利要求1所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，所述金属有机源溶剂为四氢呋喃。

6.根据权利要求1所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，所述金属有机源溶液的浓度不小于0.1mol/L。

7.根据权利要求1所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，所述金属有机源溶液在所述内流道(103)中的流量不小于10ml/min。

8.根据权利要求1所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，所述金属有机源溶剂在所述外流道(104)中的流量不小于10ml/min。

9.根据权利要求1所述的采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，其特征在于，所述内流道(103)的输出口和所述外流道(104)的输出口均伸入所述蒸发器(200)内。