[发明专利]具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器在审

专利信息
申请号: 201911105541.X 申请日: 2019-11-13
公开(公告)号: CN112531466A 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 李東勳;柳晳景;金翰柱;申相道;朴進哲;薛東圭 申请(专利权)人: 禅才高科技股份有限公司
主分类号: H01T23/00 分类号: H01T23/00
代理公司: 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 代理人: 李伟波;韩德凯
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具备 离子 平衡 监视 自动 调整 功能 发生器
【权利要求书】:

1.一种具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,包括:

棒式离子发生器,通过放电针向带电体照射阴离子及阳离子,控制使得再调整离子平衡;

离子感知部,以非接触方式测量从所述放电针出来的阴离子及阳离子,变换成电流并输出;

离子感知传感器固定部,一侧与所述棒式离子发生器结合固定或固定于在阴离子及阳离子的照射区域附近配置的固定体,另一侧与所述离子感知部结合固定;及

感知信号传输部,将从所述离子感知部输出的电流信号传输给所述棒式离子发生器。

2.根据权利要求1所述的具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,

所述棒式离子发生器包括:

电压变换部,将通过所述感知信号传输部传输的所述电流信号变换成电压值;

第一高电压控制部,通过所述电压值感知离子平衡的变化,生成作为基于离子平衡变化的离子平衡调整值的正调整值;

第二高电压控制部,通过所述电压值感知离子平衡的变化,生成作为基于离子平衡变化的离子平衡调整值的负调整值;

第一高电压生成部,根据所述正调整值,生成变化了占空比或振幅值的正高电压,输出到所述放电针;及

第二高电压生成部,根据所述负调整值,生成变化了占空比或振幅值的负高电压,传输到所述放电针。

3.根据权利要求2所述的具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,

所述离子感知部包括:

离子感知板部,通过所述阴离子及阳离子的接触而感应的电压而被充电;及

离子感知传感器部,与所述离子感知板部在电气相互浮动,以非接触方式测量充电至所述离子感知板部的电压。

4.根据权利要求3所述的具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,

所述离子感知板部包括:

阴离子及阳离子接触板部,供所述阴离子及阳离子进行接触;及

阴离子及阳离子充电板部,与所述阴离子及阳离子接触板部电气连接而充电所述阴离子及阳离子。

5.根据权利要求4所述的具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,

所述离子感知传感器部包括:

上部盖部,与所述离子感知板部在电气上浮动,形成有孔;

表面电位传感器部,配置于所述上部盖部的下部,利用所述表面电位传感器部的表面电位传感器测量通过所述孔而以非接触方式充电至所述阴离子及阳离子充电板部的电压;及

下部盖部,与所述上部盖部一同保护所述表面电位传感器部。

6.根据权利要求2所述的具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,

所述第一、第二高电压控制部在离子发生器运转前的初始设置时,控制使得根据所述正调整值和负调整值而变化高电压的振幅,在所述初始设置后的运转期间,控制使得根据所述正调整值和负调整值而变化高电压的占空比。

7.根据权利要求4所述的具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,

所述阴离子及阳离子接触板部和阴离子及阳离子充电板部以在电气上浮动的方式配置于所述离子感知传感器部的上侧区域并形成一体。

8.根据权利要求4所述的具备离子平衡的监视及自动调整功能的棒式离子发生器,其特征在于,

所述阴离子及阳离子充电板部以在电气上浮动的方式配置于所述离子感知传感器部的上侧区域,且剖面为矩形形状,

所述阴离子及阳离子接触板部以从所述阴离子及阳离子充电板部向阴离子及阳离子的照射方向接近的方式,向下方至少折弯延长2次以上进行接续,

所述阴离子及阳离子接触板部的端部向下方平行地延伸形成。

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