[发明专利]一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶有效
| 申请号： | 201911046706.0 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110747433B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 闫永达;毛立阳;曹永智;耿延泉;王桐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;G02B1/10 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多面 反射 制备 金属 薄膜 异形 | ||
1.一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，其特征在于：包括靶体及异形靶材(2)，所述靶体包括水咀座(1)、支撑管(5)、端盖(6)、多个隔离圈(3)及多个永磁铁(4)；
所述水咀座(1)后端与支撑管(5)一端可拆卸连接，所述多个永磁铁(4)均为环状，且多个永磁铁(4)套装在支撑管(5)上且与支撑管(5)间隙配合，每个所述隔离圈(3)均由两个半圆环体组成，每两个半圆环体设置在支撑管(5)外壁上并扣合且互相连接，所述多个隔离圈(3)和多个永磁铁(4)依次交替设置，所述异形靶材(2)中部设有空腔，异形靶材(2)的外形为柱状，异形靶材(2)套装在多个隔离圈(3)及多个永磁铁(4)外侧，水咀座(1)后端与异形靶材(2)前端可拆卸连接，异形靶材(2)后端与端盖(6)可拆卸连接；所述异形靶材(2)的外周面设有多个面型，所述多个面型与预溅射的多面共体反射镜面数量相同且一一对应。
2.根据权利要求1所述的一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，其特征在于：所述异形靶材(2)的心部为壳体，所述壳体的外周面设有衬底(7)，所述衬底(7)的外周面设有过渡层(8)，所述过渡层(8)的外周面设有所需溅射的材料层(9)。
3.根据权利要求2所述的一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，其特征在于：所述衬底(7)的材质为镍基耐蚀合金。
4.根据权利要求2或3所述的一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，其特征在于：所述过渡层(8)的材质为铝、铁或铜。
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