[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其具备：

泵壳，其形成泵室、供从所述泵室排出的气体通过的第一消声室、以及用于向外部排出通过了所述第一消声室的所述气体的排气口；以及

可动部，其用于向所述泵室吸入气体以及从所述泵室排出气体，

所述泵壳构成为，包含在所述第一消声室内朝向上方突出的筒状部，并且使从所述泵室排出的气体通过所述筒状部的内部空间向所述第一消声室流入，

所述泵壳包含：

泵壳主体，其收纳所述可动部；以及

泵盖，其与所述泵壳主体分体设置，覆盖所述可动部的上侧，

所述泵盖具有形成所述第一消声室的底面的上表面，作为构成所述第一消声室的所述底面的第一部件发挥功能，

所述筒状部从所述第一消声室的底面朝向上方突出，

作为所述第一部件的所述泵盖与所述筒状部由相同材料构成为一体。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述筒状部的上端位于比所述排气口的上端高的位置。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述泵壳形成第二消声室，所述第二消声室供从所述泵室排出的气体通过，并设置于所述第一消声室的下方，

所述第二消声室的底面比所述泵室的底面更靠下方设置，

所述第一消声室与所述第二消声室构成为，经由所述筒状部的内部空间连通。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述第一消声室的底面包含以随着接近所述排气口而朝向下方的方式倾斜的锥面。

5.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述第一消声室的底面包含：

第一底面部；以及

第二底面部，其与所述第一底面部相邻，并在比所述第一底面部高的位置作为紧固部件的支承面形成。

6.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述可动部包含：

转子，其配置于所述泵室，并在外周面形成有多个切缝；以及

多个叶片，其分别配置于所述多个切缝。