[发明专利]非接触式的待测件外形尺寸测量装置

权利要求书

1.一种非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，包括：

激光器，作为光源，用以发射光束；

衰减器，用以衰减所述激光器发射出的光束的功率；

准直扩束透镜组，用以把经过所述衰减器的光束扩散为平行光；

载物台，所述载物台是可旋转的，用以放置待测件，使所述待测件位于所述扩散后的平行光束的光路中；

电荷耦合元件，用以接收所述平行光束经过所述待测件后的光学影像信息将该光学影像信息转换成数字信号，并将该数字信号传输给计算机，用以计算出所述待测件的外形尺寸。

2.如权利要求1所述的非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，所述激光器为氦氖激光器。

3.如权利要求1所述的非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，所述电荷耦合元件为面阵电荷耦合元件。

4.如权利要求1所述的非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，所述准直扩束透镜组包括一凹透镜和一凸透镜，经过所述衰减器的光线依次经过所述凹透镜和所述凸透镜，所述凹透镜用以当光线射入时将光线发散，所述凸透镜用以当经过所述凹透镜发散后的光线入射时将光线进行准直，从而发出平行的宽光束。

5.如权利要求1所述的非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，所述待测件包括光学镜片。

6.如权利要求1所述的非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，所述激光器、所述衰减器、所述准直扩束透镜组、所述载物台以及所述电荷耦合元件均安装在防尘箱内。

7.如权利要求6所述的非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，所述防尘箱至少有一个面设置有一镀有增反膜的透明钢化玻璃罩，用以隔绝杂散光，所述防尘箱的其余面是铝合金材质。

8.如权利要求1或7所述的非接触式的待测件外形尺寸测量装置，其特征在于，所述激光器、所述衰减器、所述准直扩束透镜组、所述载物台以及所述电荷耦合元件依次设置成一排。