[发明专利]物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法及其系统在审
| 申请号: | 201910987374.X | 申请日: | 2019-10-17 |
| 公开(公告)号: | CN112683925A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
| 发明(设计)人: | 蔡昆佑 | 申请(专利权)人: | 神讯电脑(昆山)有限公司;神基科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 物件 表面 可能 缺陷 影像 检测 扫描 方法 及其 系统 | ||
1.一种物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法,其特征在于,包含:
依序位移一物件的若干个表面区块的其中之一至一检测位置;
以面向该检测位置的一光源组件提供一光线;
相对位于该检测位置的该表面区块的一正向法线,该光线以小于或等于90度的一光入射角照射该检测位置;
以一感光元件根据该光线撷取依序位于该检测位置上的各该表面区块的一检测影像,其中该感光元件面向该检测位置且该感光元件的一感光轴平行于该正向法线。
2.如权利要求1所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法,其特征在于,在依序位移该若干个表面区块至该检测位置的步骤中,沿一顺时针方向或一逆时针方向转动该物件以位移该若干个表面区块至该检测位置。
3.如权利要求1所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法,其特征在于,还包含:
当该感光元件撷取依序位于该检测位置上的各该检测影像不符合一预设亮度时,相对于该正向法线,该另一光线以不同的另一光入射角照射该检测位置;
以该感光元件根据该另一光线撷取依序位于该检测位置上的各该表面区块的另一检测影像。
4.如权利要求1所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法,其特征在于,该光线以小于或等于90度的该光入射角照射该检测位置的步骤包含:
根据相应该若干个表面区块的一预设表面缺陷的一预设孔深之间的一负相关关系计算该光入射角;
根据计算得的该光入射角调整该光源组件的位置;
于调整该光源组件的该位置的步骤之后,驱动该光源组件以输出该光线。
5.如权利要求4所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法,其特征在于,该预设表面缺陷还包含一预设孔半径,并且该光线以小于或等于90度的该光入射角照射该检测位置的步骤包含:
根据该预设表面缺陷的该预设孔半径与该预设深度预设孔深之间的一预设纵深比计算该光入射角;
根据计算得的该光入射角调整该光源组件的位置;
于调整该光源组件的该位置的步骤之后,驱动该光源组件以输出该光线。
6.如权利要求1所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法,其特征在于,相应该若干个表面区块的一预设表面缺陷包含一预设孔深d及一预设孔半径r,并且该光线以小于或等于90度的该光入射角照射该检测位置的步骤包含:
以反正切(arctangent)(r/d)计算得该光入射角;
根据计算得的该光入射角调整该光源组件的位置;
于调整该光源组件的该位置的步骤之后,驱动该光源组件以输出该光线。
7.如权利要求1所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描方法,其特征在于,在该光线以该光入射角照射该检测位置的步骤中,该光线以等于90度的该光入射角照射该检测位置。
8.一种物件表面可能缺陷的影像检测扫描系统,其特征在于,包含:
一驱动组件,承载一物件,其中该物件的表面沿一延伸方向划分为若干个表面区块,且该驱动组件还用于依序位移该若干个表面区块至一检测位置;
一光源组件,面向该检测位置配置,提供一光线以照射该检测位置,其中相对于位于该检测位置的该表面区块的一正向法线,该光线的一光入射角小于或等于90度;
一感光元件,面向该检测位置配置,撷取依序位于该检测位置上的各该表面区块的一检测影像,其中该感光元件的一感光轴平行于该正向法线。
9.如权利要求8所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描系统,其特征在于,该物件的表面为一圆柱表面,该驱动组件相对该感光元件沿一顺时针方向或一逆时针方向转动该物件以位移该若干个表面区块至该检测位置。
10.如权利要求8所述的物件表面可能缺陷的影像检测扫描系统,其特征在于,该光源组件还于该感光元件撷取的各该表面区块的该检测影像不符合一预设亮度时提供另一光线照射该检测位置,相对于该正向法线,该另一光线的另一光入射角不同于该光入射角。
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