[发明专利]一种高密度阵列式法拉第筒测量探头

权利要求书

1.一种高密度阵列式法拉第筒测量探头，其特征在于：

包括耐高温导电板、陶瓷绝缘层、散热隔离腔和散热板，陶瓷绝缘层的一侧是高温导电板，另一侧是散热隔离腔，散热板与散热隔离腔连接；

所述的耐高温导电板包含入射孔，用来透过离子；

所述的陶瓷绝缘层包含陶瓷栅格，每个栅格拥有一个接收探针；

所述的散热隔离腔包含两个凹槽和一个法兰口，其中第一凹槽存放分布线缆，第二凹槽存放冷却管道；

所述的散热板包含凸起散热片用于增加表面积；

所述的耐高温导电板、陶瓷绝缘层、散热板含有通孔，散热隔离腔含有螺纹孔。

2.根据权利要求1所述的一种高密度阵列式法拉第筒测量探头，其特征在于：

所述的耐高温导电板包含阵列排布的入射孔；

所述的陶瓷绝缘层包含陶瓷栅格，每个陶瓷栅格对应一个入射孔且离子通过入射孔后直接进入陶瓷栅格，进一步被陶瓷栅格内的接收探针吸收；

所述的接收探针与耐高温导电板、散热隔离腔均不接触；

真空导电螺丝依次穿过耐高温导电板、陶瓷绝缘层的通孔后固定于散热隔离腔的第一凹槽上。

3.根据权利要求1所述的一种高密度阵列式法拉第筒测量探头，其特征在于：

所述的散热隔离腔的法兰口包含多针连接器和冷却循环孔，用于连接信号调理模块和注入冷却介质；

多针连接器用于连接陶瓷绝缘层中接收探针的探针接口，冷却循环孔是散热隔离腔第二凹槽中循环管道的输入输出接口。

4.根据权利要求1所述的一种高密度阵列式法拉第筒测量探头，其特征在于：

所述散热板通过真空导电螺丝固定于散热隔离腔的第二凹槽上。

5.根据权利要求1所述的一种高密度阵列式法拉第筒测量探头，其特征在于：

所述的接收探针和陶瓷绝缘层通过插拔连接，每个接收探针可拆卸。

6.根据权利要求1所述的一种高密度阵列式法拉第筒测量探头，其特征在于：

所述的耐高温导电板、散热隔离腔、散热板、接收探针和循环管道均为导热、导电固体材料，其中耐高温导电板的材料包括石墨和钨；

所述的陶瓷绝缘层为高硬度耐高温、导电绝缘体，其中陶瓷绝缘层的材料包括氮化硼。