[发明专利]被加工物的加工方法和加工装置

权利要求书

1.一种被加工物的加工方法，对被加工物的背面进行磨削，该被加工物在正面上具有由呈格子状形成的多条分割预定线划分而形成有器件的器件区域，并且具有围绕器件区域的外周剩余区域，其特征在于，

该被加工物的加工方法具有如下的步骤：

保持步骤，利用能够以铅垂方向的旋转轴为中心而进行旋转的保持工作台的保持面对该被加工物的正面上所粘贴的保护部件进行保持；以及

磨削步骤，使该保持工作台旋转，并且一边利用以与该保持面垂直的旋转轴为中心而进行旋转的磨削磨具对该被加工物的背面进行磨削，一边使以与该保持面平行的旋转轴为中心而进行旋转的切削刀具切入至该被加工物的外周剩余区域，对该被加工物的外周缘进行切削，

该被加工物的加工方法同时实施该被加工物的背面的磨削和该被加工物的外周缘的切削。

2.根据权利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于，

该磨削步骤包含：

粗磨削步骤，使用以与该保持面垂直的旋转轴为中心而进行旋转的粗磨削磨具对该被加工物的背面进行粗磨削，直至达到即将成为完工厚度前的厚度；以及

精磨削步骤，在粗磨削步骤之后，使用以与该保持面垂直的旋转轴为中心而进行旋转的精磨削磨具进行精磨削，直至达到完工厚度，

在该粗磨削步骤中的粗磨削时或者在该精磨削步骤中的精磨削时，对该被加工物的外周缘进行切削。

3.一种被加工物的加工装置，其对被加工物的背面进行磨削，该被加工物在正面上具有由呈格子状形成的多条分割预定线划分而形成有器件的器件区域，并且具有围绕器件区域的外周剩余区域，其中，

该被加工物的加工装置至少具有：

保持单元，其利用以铅垂方向的旋转轴为中心而进行旋转的保持工作台的保持面对该被加工物的正面上所粘贴的保护部件进行保持；

磨削单元，其具有磨削磨具，该磨削磨具以与该保持面垂直的旋转轴为中心而进行旋转，对该被加工物的背面进行磨削；以及

外周缘去除单元，其使以与该保持面平行的旋转轴为中心而进行旋转的切削刀具切入至该被加工物的外周剩余区域，对该被加工物的外周缘进行切削，

该被加工物的加工装置一边使用该磨削单元对被加工物的背面进行磨削，一边通过该外周缘去除单元对被加工物的外周缘进行切削。

4.根据权利要求3所述的被加工物的加工装置，其中，

该磨削单元包含：

粗磨削单元，其具有粗磨削磨具，该粗磨削磨具以与该保持面垂直的旋转轴为中心而进行旋转，对该被加工物的背面进行粗磨削；以及

精磨削单元，其具有精磨削磨具，该精磨削磨具以与该保持面垂直的旋转轴为中心而进行旋转，对该被加工物的背面进行精磨削，

在该粗磨削时或在该精磨削时，通过该外周缘去除单元对被加工物的外周缘进行切削。