[发明专利]振动发电元件

说明书

本发明提供一种能够调整重锤的质量且容易使重锤的质量在预定的设定值内的振动发电元件。振动发电元件(1)具备：具有多个梳齿电极(110)的固定电极部(111)；具有多个梳齿电极(120)的可动电极部(12)；固定于可动电极部(12)的重锤(10a、10b)；以及能够安装用于追加调整重锤的质量调整用重锤(105、170)的调整重锤安装用构造(Mb)。

技术领域

本发明涉及一种振动发电元件。

背景技术

近年来，开发出一种利用MEMS技术的非常小型的振动发电元件。例如，专利文献1中，通过使形成有梳齿电极的可动部相对于形成有梳齿电极的固定部振动来进行发电。在这样的振动发电元件中，为了即使在较小的环境振动中也能高效地发电，使可动部的质量更大是重要的，在专利文献1所记载的振动发电元件中，采用在可动部上装配另外形成的重锤的构造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利6338071号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述专利文献1中未记载能够调整重锤的质量的内容。若重锤的质量有偏差则振动发电元件的共振频率变化，从而振动发电元件的发电效率变差。

用于解决课题的方案

本发明的一个方式的振动发电元件具备：固定电极部，其具有多个梳齿电极；可动电极部，其具有多个梳齿电极；重锤，其固定于上述可动电极部；以及调整重锤安装用构造，其能够安装用于追加调整上述重锤的质量调整用重锤。

发明的效果如下。

根据本发明，容易使重锤的质量在预定的设定值内。

附图说明

图1是示出封入在真空封装体内的振动发电元件的图。

图2是示出振动发电元件的各部分的结构的图。

图3是说明振动平面内的重心位置的偏移的图。

图4是说明与振动平面垂直的方向的位置偏移的图。

图5是用于示出可动电极部与重锤的接合构造的第一实施方式，是图1所示的可动电极部和重锤的分解图。图5中，可动电极部是从上方观察到的图，重锤是从下方侧观察到的立体图。

图6是从上表面侧观察图5所示的重锤的立体图。

图7是示出图6所示的可动电极部与重锤的接合构造的剖视图。

图8是示出振动发电元件的MEMS加工体的形成顺序的一例的图。

图9是示出图8的MEMS加工体的形成顺序之后的工序的图。

图10是重锤的变形例1，图10的(a)是重锤的俯视图，图10的(b)是沿图10的(a)的中心线L6-L6的剖视图，图10的(c)是沿图10的(a)的中心线L5-L5的剖视图。

图11是重锤的变形例2，图11的(a)是重锤的俯视图，图11的(b)是沿图11的(a)的中心线L6-L6的剖视图，图11的(c)是沿图11的(a)的中心线L5-L5的剖视图。

图12是重锤的变形例3，图12的(a)是重锤的俯视图，图12的(b)是沿图12的(a)的中心线L6-L6的剖视图，图12的(c)是沿图12的(a)的中心线L5-L5的剖视图。

图13示出重锤的第二实施方式，图13的(a)是重锤的俯视图，图13的(b)是沿图13的(a)的中心线L6-L6的剖视图，图13的(c)是沿图13的(a)的中心线L5-L5的剖视图。