[发明专利]显示面板和制造该显示面板的方法在审

专利信息
申请号: 201910940883.7 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN111063704A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 申铉亿;高京秀;金湘甲;朴弘植;孙尙佑;宋都根;申相原;杨受京;李东敏 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 张晓;张川绪
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种显示面板,所述显示面板包括:

基体层;

信号线,设置在所述基体层上,所述信号线包括:第一层,包括铝;以及第二层,直接设置在所述第一层上,所述第二层包括铌钛合金;

第一薄膜晶体管,连接到所述信号线;

第二薄膜晶体管,设置在所述基体层上;

电容器,电连接到所述第二薄膜晶体管;以及

发光元件,电连接到所述第二薄膜晶体管。

2.如权利要求1所述的显示面板,其中,所述第一薄膜晶体管包括:

第一多晶硅图案,设置在所述基体层上;

第一控制电极,与所述第一多晶硅图案叠置并且连接到所述信号线;以及

第一输入电极和第一输出电极,所述第一输入电极和所述第一输出电极中的每个连接到所述第一多晶硅图案。

3.如权利要求2所述的显示面板,其中,所述第一控制电极具有与所述信号线相同的堆叠结构。

4.如权利要求2所述的显示面板,其中,所述第二薄膜晶体管包括:

第二多晶硅图案,设置在所述基体层上;

第二控制电极,与所述第二多晶硅图案叠置并且设置在与在所述第一控制电极下的层不同的层上;

第二输入电极和第二输出电极,所述第二输入电极和所述第二输出电极中的每个连接到所述第二多晶硅图案。

5.如权利要求4所述的显示面板,其中,所述电容器包括:

第一电极,设置在与在所述信号线下的层相同的层上;以及

第二电极,设置在与在所述第二控制电极下的层相同的层上,并且

其中,所述第一电极具有与所述信号线相同的堆叠结构。

6.如权利要求5所述的显示面板,其中,所述第二控制电极和所述第二电极包括:

第一层,包括铝镍镧合金;以及

第二层,直接设置在所述第一层上并且包括铌钛合金。

7.如权利要求1所述的显示面板,其中,所述第一层还包括:

镍,所述镍相对于所述第一层的含量在从0.01at%至0.05at%的范围内;以及

镧,所述镧相对于所述第一层的含量在从0.02at%至0.05at%的范围内。

8.如权利要求7所述的显示面板,其中,所述钛相对于所述第二层的含量在从5at%到50at%的范围内,以及

所述铌相对于所述第二层的含量在从50at%至95at%的范围内。

9.一种显示面板,所述显示面板包括:

基体层;

第一薄膜晶体管,设置在所述基体层上;

第二薄膜晶体管,电连接到所述第一薄膜晶体管;以及

发光元件,连接到所述第二薄膜晶体管,

其中,所述第一薄膜晶体管包括:

第一多晶硅图案,设置在所述基体层上;

第一控制电极,与所述第一多晶硅图案叠置,所述第一控制电极包括:第一层,包括铝镍镧合金;以及第二层,直接设置在所述第一层上,

所述第二层包括铌钛合金;以及

第一输入电极和第一输出电极,所述第一输入电极和所述第一输出电极中的每个连接到所述第一多晶硅图案。

10.一种制造显示面板的方法,所述方法包括以下步骤:

在基体层上形成半导体图案;

在所述基体层上通过形成包含铝的第一层、在所述第一层上直接形成第二层并且使所述第一层和所述第二层图案化来形成信号线,所述第二层包含铌钛合金;

在所述基体层上形成控制电极,所述控制电极与所述半导体图案叠置;

在所述基体层上形成输入电极和输出电极,所述输入电极和所述输出电极中的每个连接到所述半导体图案;以及

在所述基体层上形成发光元件。

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