[发明专利]一种超纯水制备系统

说明书

本发明公开了一种超纯水制备系统包括自来水进水管，原水泵、一级高压泵、二级高压泵、纯水输送泵和清洗水泵提供本系统的运转动力，自来水经多介质过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、一级反渗透组件、EDI装置和紫外线杀菌器的过滤、杀菌，盐箱和酸碱度调节器对自来水进行硬度和酸碱度调节，所制作出的超纯水的电阻率≥15MΩ.cm@25℃，可以用于一般实验室用水、色谱、液相等使用，触摸屏中央控制装置对整个系统进行全自动控制，亦可实现自动与手动之间的切换；配备自动控制器，定期进行自我清洗、反洗、运行的切换，无需人工介入；设计采用标准化、通用化零部件，便于拆装、更换、清洗。

技术领域

本发明涉及水处理技术领域，尤其涉及一种超纯水制备系统。

背景技术

超纯水常用于集成电路工业中，用于半导体原材料的清洗，光刻掩膜版的制备，同时超纯水也是实验室中使用最多的物质，在仪器分析，高纯分析及配制化学试剂过程中，所使用的水的纯度非常重要，水中多余离子和可溶性有机物及杂质会对实验分析造成干扰，导致检测结果不准确，无法得到理想的实验结果。目前，大多数的实验室都存在实验用水制取困难且成本高，而传统的制水方法往往无法彻底的去除水中的多余离子，无法完全满足实验用水的需求。

因此本领域技术人员致力于开发一种电阻率接近理论值超纯水的超纯水制备系统。

发明内容

有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种水质效果好的超纯水制备系统。

为实现上述目的，本发明提供了一种超纯水制备系统，包括自来水进水管，所述自来水进水管由前至后依次通过水管串联连接有原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、一级高压泵、一级反渗透组件、二级高压泵、二级反渗透组件、EDI装置、纯水箱、纯水输送泵、紫外线杀菌器和取水装置；所述软水器连接有盐箱；所述二级高压泵的入口还连接有酸碱度调节器；所述取水装置设置有与所述纯水箱连接的第一回水管；所述保安过滤器的入口和所述一级反渗透组件的出口之间还并联连接有CIP清洗装置，所述CIP清洗装置包括依次通过水管串联连接的清洗水箱、清洗水泵和清洗过滤器，所述清洗水箱的入口与所述一级反渗透组件的出口连接，所述清洗过滤器的出口与所述保安过滤器的入口连接。

所述多介质过滤器设置有第一过滤控制器，所述活性炭过滤器设置有第二过滤控制器，所述保安过滤器的出口与所述一级高压泵的入口之间并联有一第一压力监测器，所述一级反渗透组件的出口连接有第一电导率仪，所述二级高压泵的入口连接有第二压力监测器，所述二级反渗透组件的出口连接有第二电导率仪，所述EDI装置设置有设置两个出口，一个出口连接一电阻率仪后与所述纯水箱连接，另一个出口连接有连接一电子流量开关后接地，所述纯水箱设置有第一电子液位计，所述纯水输送泵的出口连接有第三压力监测器，所述清洗水箱设置有第二电子液位计，所述软水器的出口与所述保安过滤器之间还设置有一第一电磁阀连接，所述二级高压泵的出口连接有酸碱度传感器；所述原水泵、第一过滤控制器、第二过滤控制器、第一电磁阀、第一压力监测器、一级高压泵、第一电导率仪、第二压力监测器、二级高压泵、酸碱度调节器、酸碱度传感器、第二电导率仪、EDI装置、电阻率仪、电子流量开关、第一电子液位计、纯水输送泵、第三压力监测器、紫外线杀菌器、清洗水泵和第二电子液位计均电连接一触摸屏中央控制装置。

所述自来水进水管和所述原水泵的入口之间设置有第一手动阀和第一压力表。

所述原水泵的出口与所述多介质过滤器的入口之间由前至后依次设置有第一单向阀和第二手动阀。

所述多介质过滤器设置有两个出口，一个出口与所述活性炭过滤器的入口连接，另一个出口连接一第二手动阀后连接有第一接地槽。

所述活性炭过滤器连接有第二接地槽，所述软水器连接有第三接地槽，所述盐箱连接有第四接地槽，所述活性炭过滤器的出口连接有第二压力表，所述软水器的出口连接有第三压力表。