[发明专利]一种掩膜板张网控制方法及装置、张网系统有效
| 申请号: | 201910895062.6 | 申请日: | 2019-09-20 |
| 公开(公告)号: | CN110484863B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 杜森;吴建鹏;张元其;嵇凤丽;徐倩 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 周娟 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜板张网 控制 方法 装置 系统 | ||
本发明公开一种掩膜板张网控制方法及装置、张网系统,涉及显示技术领域,以控制掩膜板张网过程,从而降低图案化基板所具有的各个像素区出现缺失和混色的可能性。所述控制方法包括获取像素开口区的实测位置信息;根据像素开口区的实测位置信息和像素区预设位置信息获得像素开口区实测偏移量R;在其大于不混色像素对应的像素开口区理论偏移量R0时,在像素开口区实测几何中心位于不混色像素对应的像素开口区几何中心拟合图案所围成的区域外;生成用于启动张网参数调节过程的调节指令,否则生成用于确认张网参数的确认指令。所述制装置用于执行上述控制方法。本发明提供的掩膜板张网控制方法用于蒸镀中。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩膜板张网控制方法及装置、张网系统。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Display,缩写为OLED)显示设备是一种可自发光的低能耗平板显示装置,其所显示的画面视角广、亮度高、对比度极佳,已经成为显示技术领域的主流发展方向。
目前,在OLED显示面板制备过程中,需要借助具有图案化的掩膜板,以真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成所需的图案,获得图案化基板。一般来说,像素位置精度应当保证在像素位置精度阈值范围内,使得掩膜板所具有的像素开口区实测几何中心与图案化基板所具有的像素发光区预设几何中心在误差范围内。但是,由于掩膜板所具有的像素开口区边缘的几何特征差异性,使得像素预设发光区在不同几何特征边缘区域的材料蒸镀准确度不仅有所差异,而且也使得混色距离有所不同。当以现有蒸镀源扫描方式向待蒸镀基板蒸镀材料时,图案化基板所具有的各个像素很容易出现缺失和混色问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种掩膜板张网控制方法及装置、掩膜系统,以控制掩膜板张网过程,从而降低图案化基板所具有的各个像素发光区出现缺色和混色的可能性。
为了实现上述目的,本发明提供一种掩膜板张网控制方法。所述掩膜板张网控制方法包括:
获取掩膜板所具有的像素开口区的实测位置信息;
根据所述像素开口区的实测位置信息和像素区预设位置信息,获得像素开口区实测偏移量R;
在所述像素开口区实测偏移量R大于不混色像素对应的像素开口区理论偏移量R0时,判断像素开口区实测几何中心是否位于不混色像素对应的像素开口区几何中心拟合图案所围成的区域;
如果是,生成结束掩膜板张网控制过程的结束指令;否则,生成用于启动张网参数调节过程的调节指令。
与现有技术相比,本发明提供的掩膜板张网控制方法中,在像素开口区实测偏移量R大于不混色像素对应的像素开口区R0时,判断像素开口区实测几何中心是否位于不混色像素对应的像素开口区几何中心拟合图案所围成的区域,如果是,则说明像素开口区的实测位置信息对应的张网参数合适,利用像素开口区所形成的像素能够在覆盖对应像素预设区的同时,保证所形成的像素不会与相邻像素产生交叠,此时生成结束指令,使得张网机停止调节张网参数,从而结束张网控制过程;否则说明所检测的像素缺损以及与相邻像素发生混色的机率特别高,此时生成调节指令,用以启动张网参数调节过程,使得张网机继续调节张网参数。由此可见,如果像素区为像素发光区,那么采用本发明提供的掩膜板张网控制方法可在保证调节实测像素位置水平精度和实测像素位置竖直精度前提下控制掩膜板的张网过程,使得图案化基板所具有的当前像素发光区能够在覆盖像素预设发光区的前提下,不会与相邻像素预设发光区交叠,因此,本发明提供的掩膜板张网控制方法可以保证控制掩膜板张网过程,从而降低图案化基板所具有的各个像素预设发光区出现缺色和混色的可能性。
本发明还提供了一种掩膜板张网控制装置。所述掩膜板张网控制装置包括:
收发单元,用于获取掩膜板所具有的像素开口区的实测位置信息;
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