[发明专利]一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺

说明书

本发明提供了一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺，属于电池片加工技术领域。它解决了现有电池片加工效率慢、色差大的等技术问题。一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、对镀膜腔室内充入N₂进行吹扫，将电池片制绒后放置石墨舟并置于镀膜腔室中进行加热；S2、对镀膜腔室抽空并形成真空状态；S3、对镀膜腔室内通入NH₃、SiH₄，启动射频发射器，功率为11250w，使其电池片表面形成第一层膜；S4、关闭射频发射器，并持续通入NH₃、SiH₄，镀膜腔室内压力提高至1600Pa，使其电池片的第一层膜表面形成第二层膜；S5、抽空；S6、出舟。本发明具有加工效率高、色差小的优点。

技术领域

本发明属于电池片加工技术领域，特别是一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺。

背景技术

光伏发电由于其成本太高，仍然无法取代传统能源，降低成本、提高太阳电池转换效率是光伏行业可以逐渐取代传统能源的关键。目前市场上光伏发电产品仍以多晶太阳电池组件为主，降低多晶太阳电池成本、提高多晶电池转换效率是降本关键。

多晶硅采用氢氟酸酸和硝酸体系制绒制备微米级蠕虫状结构，制绒后多晶硅片表面反射率控制在22-24％左右。

但是，随着光伏发电，其电池片的生产加工也难以突破限制，传统的电池片镀膜工艺中，每舟240片，在一天总体加工镀膜的数量上较少，跟不上产量的需求，且传统镀膜工艺中，容易造成电池片颜色产生色差，报废率较高。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺，解决了加工效率慢、色差大的问题。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：

一种多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1、对镀膜腔室的五个温区进行升温，然后对镀膜腔室内充入N₂进行吹扫，将电池片制绒后放置石墨舟并置于镀膜腔室中进行加热，对电池片加热60s；

S2、使镀膜腔室保持常压，将温度回调至工艺所需温度后并持续加热500s，保持五个温区温度，然后对镀膜腔室抽空并形成真空状态；

S3、对镀膜腔室内通入NH₃，NH₃流量为7000sccm，在300s后对镀膜腔室内压力增加，使其镀膜腔室压强提高至310Pa，持续10s，然后对镀膜腔室内同时通入NH₃、SiH₄，通入SiH₄流量为1600sccm,通入NH₃流量为7000sccm，在NH₃、SiH₄通入20s后启动射频发射器，功率为11250w，此时，镀膜腔室内压力为1600Pa，使其电池片表面形成第一层膜；

S4、关闭射频发射器，并持续通入NH₃、SiH₄，通入NH₃流量为8500sccm，通入SiH₄流量为800sccm,为第二层膜做稳压准备，持续时间640s，镀膜腔室内压力提高至1600Pa，其中，在通入NH₃、SiH₄10s后，启动射频发射器，功率为13250w，使其电池片的第一层膜表面形成第二层膜；

S5、抽空，并对镀膜腔室充N₂吹扫；

S6、出舟。

氨硅比例为硅烷和氨气的比例。

在上述多晶太阳电池减反射膜的扩容镀膜工艺中，所述的五个温区温度沿预设方向依次为575℃、550℃、565℃、570℃、510℃。