[发明专利]一种研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法及其应用方法

权利要求书

1.一种研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1,研磨废浆料的收集：

将蓝宝石研磨制程作业后的废浆料通过桶装的方式对其进行收集；

步骤2,固液分离：

将步骤1收集到的研磨废浆料，进行固液分离，沉淀后，提取底部的下层粉料备用；其中，固液分离采用的方式为重力沉淀法，沉淀时间为30～60min；

步骤3，脱水烘干：

提取步骤2的下层粉料至脱水机中进行脱水、烘干，获得含水率在5～10％的废弃旧干粉；其中脱水机的转速为600～2000rpm，脱水时间为10～20min，烘烤温度为80～120℃，烘烤时间为120～150min；

步骤4，粒径筛分：

将步骤3获得的废弃旧干粉放置到粒径分选机上进行分选，获得筛分后的碳化硼回收粉料。

2.根据权利要求1所述的研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法，其特征在于：所述分散剂包括pH调整剂、活性离子。

3.根据权利要求2所述的研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法，其特征在于：所述pH调节剂为乙酸、柠檬酸、草酸、苯甲酸、山梨酸、NaOH、KOH、NH4OH、乙二胺、乙二醇、三乙醇胺的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法，其特征在于：所述活性离子为氟、氯、硫酸根、硝酸根、亚硫酸根、铁、铝中的一种或多种。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的研磨废浆料中的碳化硼回收利用的方法制得的碳化硼回收粉料。

6.根据权利要求5所述的碳化硼回收粉料，其特征在于：所述碳化硼回收粉料的平均粒径为5～40um。

7.根据权利要求6所述的碳化硼回收粉料在铜抛加工工艺上的应用。

8.根据权利要求6所述的碳化硼回收粉料的应用方法，其特征在于，包括以下步骤：

A、将碳化硼回收粉料与分散剂进行均匀混合，制得铜抛浆液；其中，碳化硼回收粉料的添加量占所述铜抛浆液的重量比例为3～10％，分散剂的添加量所占铜抛浆液的重量比例为1～5％；

B、在铜抛机中加入步骤A中制备完成的铜抛浆液，并通过金属研磨盘对置于陶瓷盘上的晶片进行研削，其中，铜抛机的转速为20～50rpm，压力为100～250g/cm²，浆料初始喷洒量为0.3～0.8g/min/pcs，移除厚度为25～45um。