[发明专利]用于纳米压印的印模

权利要求书

1.一种用于纳米压印的印模，其中，所述印模包括：

基体基底，所述基体基底具有由彼此交叉的第一方向和第二方向限定的平面；

第一图案组，所述第一图案组包括第一图案部分和第二图案部分，所述第一图案部分和所述第二图案部分设置在所述基体基底上，布置为在所述第一方向上彼此隔开，并且在所述第一方向上具有不同的宽度；以及

第二图案组，所述第二图案组包括第三图案部分和第四图案部分，所述第三图案部分和所述第四图案部分设置在所述基体基底上，布置为在所述第一方向上彼此隔开，并且在所述第一方向上具有不同的宽度，

其中，所述第一图案部分至所述第四图案部分中的每个包括多个纳米图案，并且

其中，所述第一图案部分、所述第三图案部分、所述第二图案部分和所述第四图案部分设置为在所述第一方向上按顺序彼此相邻地布置。

2.根据权利要求1所述的印模，其中，所述第二图案部分具有小于所述第一图案部分的第一宽度的第二宽度。

3.根据权利要求2所述的印模，其中，所述第三图案部分具有所述第一图案部分的所述第一宽度，并且

其中，所述第四图案部分具有所述第二图案部分的所述第二宽度。

4.根据权利要求2所述的印模，其中，所述第三图案部分具有小于所述第一图案部分的所述第一宽度并大于所述第二图案部分的所述第二宽度的第三宽度，并且

所述第四图案部分具有小于所述第二图案部分的所述第二宽度的第四宽度。

5.根据权利要求2所述的印模，其中，所述第一图案组还包括第五图案部分，并且所述第二图案组还包括第六图案部分，所述第五图案部分和所述第六图案部分布置为在所述基体基底上彼此相邻，并且所述第六图案部分设置为在所述第一方向上与所述第一图案部分至所述第四图案部分隔开，

其中，所述第五图案部分在所述第一方向上的第五宽度小于所述第二图案部分在所述第一方向上的所述第二宽度，并且

其中，所述第六图案部分的第六宽度具有所述第五图案部分的所述第五宽度。

6.根据权利要求5所述的印模，其中，所述第五图案部分与所述第二图案部分隔开，所述第四图案部分设置在所述第五图案部分和所述第二图案部分之间，并且

其中，所述第五图案部分和所述第六图案部分布置为在所述第一方向上按顺序彼此相邻。

7.根据权利要求6所述的印模，其中，所述第二图案部分的所述第二宽度和所述第五图案部分的所述第五宽度之间的差与所述第一图案部分的所述第一宽度和所述第二图案部分的所述第二宽度之间的差相同。

8.根据权利要求2所述的印模，其中，所述第一图案组还包括第五图案部分，并且所述第二图案组还包括第六图案部分，所述第五图案部分和所述第六图案部分布置为在所述基体基底上彼此相邻，并且所述第五图案部分和所述第六图案部分设置在所述第三图案部分和所述第二图案部分之间。

9.根据权利要求1所述的印模，其中，所述印模还包括多个虚设图案，所述多个虚设图案分别设置在所述第一图案部分至所述第四图案部分之间，

其中，所述多个虚设图案中的每个具有大于所述多个纳米图案中的纳米图案在所述第一方向上的宽度的宽度。

10.根据权利要求1所述的印模，其中，所述第一图案部分和所述第二图案部分的宽度差为大约400μm或更大。