[发明专利]一种气体静压轴承基体及其表面微结构的制作方法

权利要求书

1.一种气体静压轴承基体，其特征在于，包括花岗岩以及设置于花岗岩气浮面上的易于加工的膜层；所述的膜层由Mo、Pr、Zn、Si、Pb、Pd、Fe以及Cu组合而成；所述的膜层中各成分的重量配比为：

2.根据权利要求1所述的气体静压轴承基体，其特征在于，所述的膜层中各成分的重量配比为：

3.一种基于权利要求1所述气体静压轴承基体表面微结构的制作方法，其特征在于，该制作方法为，

S1、取花岗岩对其尺寸进行加工，加工至所需尺寸；

S2、对花岗岩的气浮面进行粗糙处理；

S3、在花岗岩的功能气浮面镀上一层易于加工的膜层；

S4、对膜层表面进行打磨至气体静压轴承的气浮面所需要求，将膜层表面精密磨削或研磨达到气浮面的面型精度为0.5～1.5um；

S5、在膜层的表面进行微结构的加工，成型气体静压轴承表面微结构。

4.根据权利要求3所述的气体静压轴承基体表面微结构的制作方法，其特征在于，在所述的步骤S3中采用真空镀膜或者热喷涂的方式进行镀膜。

5.根据权利要求3所述的气体静压轴承基体表面微结构的制作方法，其特征在于，所述的步骤S3中膜层的厚度控制在20-100um。

6.根据权利要求3所述的气体静压轴承基体表面微结构的制作方法，其特征在于，在所述的步骤S5中在膜层表面采用微细铣削或者电化学进行微纳加工，成型气体静压轴承表面微结构。