[发明专利]一种波导滤波器

说明书

本发明公开了一种波导滤波器，包括：第一屏蔽层，上设有第一通孔；中间支撑层，为框架结构，设置于所述第一屏蔽层上；第二屏蔽层，上设有第二通孔，设置于所述中间支撑层上，与第一屏蔽层和中间支撑层共同构成波导腔，第二屏蔽层的左端设有信号输入端口，第二屏蔽层的右端设有信号输出端口；第一信号传输结构，第一信号传输结构的第一端设置在信号输入端口中，第一信号传输结构的第二端穿过中间支撑层延伸至第一屏蔽层，并与第一屏蔽层相连；第二信号传输结构，第二信号传输结构的第一端设置在信号输出端口中，第二信号传输结构的第二端穿过中间支撑层延伸至第一屏蔽层，并与第一屏蔽层相连。本发明能适用于太赫兹频段使用需求。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种波导滤波器。

背景技术

太赫兹波(THz)包含了频率为0.1到10THz的电磁波，其波长范围为30μm～3mm，处于电磁波的毫米波波段的高频和低频率的远红外光谱边缘，广泛应用于通信、雷达、电子对抗、电磁武器、天文、医学成像、无损检测、安全检查等领域。而实际应用中，太赫兹系统需要滤除不需要频率范围外的电磁噪声，提高抗干扰能力，需要使用滤波器。

目前常用的是微带线平面形式滤波器，微带滤波器的应用范围不广，扩展性不强，目前也主要集中在低频的系统中，且对信号的损耗大，难于系统集成，制约了系统的发展。所以急需开发出适合高频微波段尤其是太赫兹频段的高性能滤波器产品。

发明内容

本发明实施例提供了一种波导滤波器，旨在解决目前的滤波器不能适用于太赫兹频段使用需求的问题。

本发明实施例提供了一种波导滤波器，包括：

第一屏蔽层，上设有第一通孔；

中间支撑层，为框架结构，设置于所述第一屏蔽层上；

第二屏蔽层，上设有第二通孔，设置于所述中间支撑层上，与所述第一屏蔽层和所述中间支撑层共同构成波导腔，所述第二屏蔽层的左端设有信号输入端口，所述第二屏蔽层的右端设有信号输出端口；

第一信号传输结构，所述第一信号传输结构的第一端设置在所述信号输入端口中，所述第一信号传输结构的第二端穿过所述中间支撑层延伸至所述第一屏蔽层，并与所述第一屏蔽层相连；

第二信号传输结构，所述第二信号传输结构的第一端设置在所述信号输出端口中，所述第二信号传输结构的第二端穿过所述中间支撑层延伸至所述第一屏蔽层，并与所述第一屏蔽层相连。

在本申请的实施例中，所述中间支撑层包括：

第一支撑层，为框架结构，设置于所述第一屏蔽层上；

第二支撑层，与所述第一支撑层的框架结构相同，设置于所述第一支撑层上；

第三支撑层，与所述第二支撑层的框架结构相同，设置于所述第二支撑层上。

在本申请的实施例中，所述第一信号传输结构包括：

第一金属柱，所述第一金属柱的第一端在所述第二屏蔽层的信号输入端口中，所述第一金属柱的第二端穿过所述第三支撑层延伸至所述第二支撑层；

第一耦合环结构，所述第一耦合环结构的第一端与所述第一金属柱的第二端相连，所述第一耦合环结构的第二端穿过所述第一支撑层延伸至所述第一屏蔽层，并与所述第一屏蔽层连接；

所述第二信号传输结构包括：

第二金属柱，所述第二金属柱的第一端在所述第二屏蔽层的信号输出端口中，所述第二金属柱的第二端穿过所述第三支撑层延伸至所述第二支撑层；

第二耦合环结构，所述第二耦合环结构的第一端与所述第二金属柱的第二端相连，所述第二耦合环结构的第二端穿过所述第一支撑层延伸至所述第一屏蔽层，并与所述第一屏蔽层连接。