[发明专利]一种基于外尔半金属光探测的温度传感器

说明书

本发明涉及一种基于外尔半金属光探测的温度传感器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有外尔半金属层，所述外尔半金属层的上方设置有第一电极、第二电极，所述第一电极与第二电极相互间隔；该基于外尔半金属光探测的温度传感器，通过检测外尔半金属与化合物电极之间的光生电流的强度变化，实现温度的检测；相比于现有的温度传感器不仅结构简单，而且灵敏度更高，具有更高的测量精度和稳定性。

技术领域

本发明涉及温度探测技术领域，具体涉及一种基于外尔半金属光探测的温度传感器。

背景技术

传感器（英文名称：transducer/sensor）是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。

现有温度传感器按电子元件特性分为热电阻和热电偶两类。容易受到电子元件特性的影响，频繁的使用会因为电子元件的损耗，而影响测量温度的传感器精度。

发明内容

本发明的目的是一种基于外尔半金属光探测的温度传感器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有外尔半金属层，所述外尔半金属层的上方设置有第一电极、第二电极，所述第一电极与第二电极相互间隔。

所述第一电极为金属制成。

所述第二电极为二氧化钒制成。

所述外尔半金属层厚度为20nm～80nm。

所述第二电极与外尔半金属层之间还设置有石墨烯层。

所述衬底层的上表面为斜面，所述外尔半金属层置于该斜面上。

所述第二电极为网格状。

所述第二电极的上表面为一斜面。

本发明的有益效果：本发明提供的这种基于外尔半金属光探测的温度传感器，通过检测外尔半金属与化合物电极之间的光生电流的强度变化，实现温度的检测；相比于现有的温度传感器不仅结构简单，而且灵敏度更高，具有更高的测量精度和稳定性。

以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是基于外尔半金属光探测的温度传感器的结构示意图一。

图2是基于外尔半金属光探测的温度传感器的结构示意图二。

图3是基于外尔半金属光探测的温度传感器的结构示意图三。

图4是第二电极的网格结构示意图。

图中：1、衬底层；2、外尔半金属层；3、第一电极；4、第二电极； 5、石墨烯层。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

实施例1