[发明专利]基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括一第一过滤器(2)、一第二过滤器(3)、一排水管路(4)及数个保护阀(5)；

所述排水管路(4)包括一主管(41)、一出水管(42)及数个入水管(43)；所述第一过滤器(2)包括一第一进水口(21)、一第一出水口(22)及至少一个第一排水口(23)，所述第二过滤器(3)包括一第二进水口(31)、一第二出水口(32)及至少一个第二排水口(33)；所述主管(41)上设有一出水孔(411)及数个入水孔(412)；

所述第一进水口(21)接入清洗水，所述第一出水口(22)连接第二进水口(31)，每一第一排水口(23)通过一入水管(43)连接至其对应的入水孔(412)；

所述第二出水口(32)输出过滤后的清洗水，每一第二排水口(33)通过一入水管(43)连接至其对应的入水孔(412)；

所述出水管(42)的一端连接所述出水孔(411)，另一端排出废水；

每一入水管(43)上均设有一保护阀(5)；

所述第一过滤器(2)包括第一腔体(201)及设于所述第一腔体(201)内的第一滤芯(202)，所述第一滤芯(202)将所述第一腔体(201)分隔为第一空间(401)及第二空间(402)；

所述第二过滤器(3)包括第二腔体(301)及设于所述第二腔体(301)内的第二滤芯(302)，所述第二滤芯(302)将所述第二腔体(301)分隔为第三空间(403)及第四空间(404)；

所述第一进水口(21)和第一出水口(22)分别与所述第一空间(401)及第二空间(402)连通，所述第二进水口(31)和第二出水口(32)分别与第三空间(403)及第四空间(404)连通。

2.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，还包括设于所述出水管(42)上的出水阀(91)。

3.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述第一过滤器(2)包括两个第一排水口(23)，所述第二过滤器(3)包括两个第二排水口(33)；

所述两个第一排水口(23)分别与所述第一空间(401)及第二空间(402)连通；

所述两个第二排水口(33)分别与所述第三空间(403)及第四空间(404)连通。

4.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述数个保护阀(5)均为手动阀。

5.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述数个保护阀(5)均为电动阀。

6.如权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于，还包括与所述数个保护阀(5)电性连接的阀门控制模块(6)，所述阀门控制模块(6)用于控制所述数个保护阀(5)同时开启或同时关闭。

7.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，还包括辅助排水管路(7)，所述辅助排水管路(7)包括一辅助主管(71)、一第一辅助支管(72)、两个第二辅助支管(73)；

所述辅助主管(71)上设有一第一连接孔(711)及两个第二连接孔(712)；

所述第一过滤器(2)还包括一第一辅助连接口(24)，所述第二过滤器(3)还包括一第二辅助连接口(34)；

所述第一辅助连接口(24)通过一第二辅助支管(73)连接至一第二连接孔(712)；

所述第二辅助连接口(34)通过另一第二辅助支管(73)连接至另一第二连接孔(712)；

所述第一辅助支管(72)的一端连接第一连接孔(711)，另一端接入排水辅助气体；

每一个第二辅助支管(73)上均设有一个保护阀(5)。

8.如权利要求7所述的基板清洗装置，其特征在于，还包括设于所述第一辅助支管(72)上的进气阀(92)。

9.如权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，还包括喷淋机构(1)，所述喷淋机构(1)与第二出水口(32)相连，以接收过滤后的清洗水喷淋待清洗的基板。