[发明专利]浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备

权利要求书

1.一种浸液回收防扰动装置，其特征在于，包括壳体，形成有气液混合腔，所述气液混合腔的侧壁设置有进液口和出液口；

多个气液缓冲体，固定于所述气液混合腔中，用于缓冲气液混合产生的扰动；

所述气液缓冲体包括柱状的柔性体，所述柔性体的两端均固定于所述气液混合腔中，且所述柔性体的长度方向与所述进液口的进液方向相垂直。

2.根据权利要求1所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述壳体还形成有排气腔，所述排气腔上设置有排气口，所述排气腔和所述气液混合腔通过隔板隔开；

所述柔性体包括由气液分离膜形成的气液分离管，所述气液分离管的一端固定在所述气液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上并与所述排气腔连通。

3.根据权利要求2所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述柔性体还包括顶部安装硬管、底部安装硬管和柔性引导棒；

所述气液分离管的一端通过所述底部安装硬管固定在所述气液混合腔的底部；

所述气液分离管的另一端通过所述顶部安装硬管固定在所述隔板上；

所述柔性引导棒设置于所述气液分离管中，所述柔性引导棒的一端固定在所述气液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上。

4.根据权利要求3所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述气液分离管的长度大于所述柔性引导棒的长度。

5.根据权利要求4所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述气液分离管的长度为所述柔性引导棒的长度的1.15-1.35倍。

6.根据权利要求3所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述柔性引导棒的直径小于或等于所述气液分离管的半径。

7.根据权利要求6所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述气液分离管的直径为1.5mm～5mm。

8.根据权利要求3所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述柔性引导棒的侧壁开设有多个周向排布，且沿所述柔性引导棒的长度方向延伸的导气槽。

9.根据权利要求1所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述多个柔性体分为多组柔性体组，所述多组柔性体组沿第一方向排布，每组所述柔性体组包括多个沿第二方向排列的所述柔性体，任意相邻两组所述柔性体组中的所述柔性体交错排布，其中，所述第一方向与所述进液口的进液方向相平行，所述第二方向与所述第一方向相垂直。

10.根据权利要求9所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，在所述第一方向上，任意相邻两组所述柔性体组中的相邻两个所述柔性体的间距为3mm～10mm。

11.一种浸没头气液循环系统，其特征在于，包括如权利要求1-10任一所述的浸液回收防扰动装置，还包括：

浸没头，所述浸没头包括气体进口、浸液进口、气液抽排口；

气体净化装置，所述气体净化装置的气体出口与所述浸没头的气体进口连接；

浸液循环处理装置，所述浸液循环处理装置的浸液出口与所述浸没头的浸液进口连接；

所述浸液回收防扰动装置的进液口与所述浸没头的气液抽排口连接，所述浸液回收防扰动装置的出液口与所述浸液循环处理装置的回水口连接。

12.根据权利要求11所述的浸没头气液循环系统，其特征在于，还包括排气隔膜泵，所述排气隔膜泵与所述浸液回收防扰动装置的排气口连接。

13.根据权利要求11所述的浸没头气液循环系统，其特征在于，所述浸液回收防扰动装置的进液口到所述浸没头的气液抽排口的距离小于或等于1000mm。

14.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求11-13任一所述的浸没头气液循环系统。