[发明专利]工件台位置校准方法、FLS垂向定位工装及工件台测量系统

权利要求书

1.一种工件台位置校准方法，所述工件台可移动地设置于一主基板上，所述主基板上可拆卸地装设有一物镜，其特征在于，包括：

将多面镜工装反射镜装设于工件台上；

完成所述多面镜工装反射镜距物镜像距的调整；

将FLS垂向定位工装装设于主基板上；

由所述FLS垂向定位工装上的第一FLS传感器测量得到所述多面镜工装反射镜的上表面的第一垂向位置；

拆除所述多面镜工装反射镜，将装设于工件台上的第一基准板移至所述FLS垂向定位工装的轴线处；

由所述第一FLS传感器测量得到所述第一基准板的上表面的第二垂向位置；

基于所述第一垂向位置与所述第二垂向位置，校准所述工件台的垂向零位。

2.根据权利要求1所述的工件台位置校准方法，其特征在于，所述工件台位置校准方法还包括：

在由所述第一FLS传感器测量得到所述第一基准板的上表面的第二垂向位置的同时，由所述第一FLS传感器测量得到所述第一基准板的第一水平向位置；

将装设于工件台上的第二基准板移至所述FLS垂向定位工装的轴线处；由所述第一FLS传感器测量得到所述第二基准板的上表面的第三垂向位置，以及所述第二基准板的第二水平向位置；基于所述第二水平向位置与所述第一水平向位置，得到所述第二基准板与所述第一基准板的水平向位置补偿量；和/或，基于所述第三垂向位置与所述第二垂向位置，得到所述第二基准板与所述第一基准板的垂向位置补偿量。

3.根据权利要求2所述的工件台位置校准方法，其特征在于，所述第一FLS传感器基于所述第一基准板上的扫描方孔标记，测量得到所述第一基准板的第二垂向位置和第一水平向位置；所述第一FLS传感器基于所述第二基准板上的扫描方孔标记，测量得到所述第二基准板的第三垂向位置和第二水平向位置。

4.根据权利要求1所述的工件台位置校准方法，其特征在于，在将FLS垂向定位工装装设于主基板上之前，所述工件台位置校准方法还包括拆除物镜；其中，所述FLS垂向定位工装与所述物镜的安装接口相匹配。

5.根据权利要求1所述的工件台位置校准方法，其特征在于，在校准所述工件台的垂向零位后，所述工件台位置校准方法还包括：

通过掩膜台对准得到物镜焦面在工件台之零位下的位置。

6.一种FLS垂向定位工装，用于装设于主基板上，其特征在于，所述FLS垂向定位工装包括：

定位板，用以与一主基板连接；

安装支架，与所述定位板连接；以及

第一FLS传感器，通过所述安装支架与所述定位板连接；

所述第一FLS传感器至少用以测量先后装设于同一工件台上的一多面镜工装反射镜的上表面的第一垂向位置以及一第一基准板的上表面的第二垂向位置。

7.根据权利要求6所述的FLS垂向定位工装，其特征在于，所述FLS垂向定位工装与物镜的安装接口相匹配。

8.根据权利要求6所述的FLS垂向定位工装，其特征在于，所述FLS垂向定位工装包括至少三个第一FLS传感器。

9.根据权利要求6所述的FLS垂向定位工装，其特征在于，所述第一FLS传感器为多光斑FLS传感器。

10.一种工件台测量系统，其特征在于，包括：

主基板；

根据权利要求6～9中任一项所述的FLS垂向定位工装，装设于主基板上；以及

工件台，可移动地设置于所述主基板；

所述工件台测量系统被配置为：

由所述第一FLS传感器测量得到一装设于工件台上的多面镜工装反射镜的上表面的第一垂向位置；

由所述第一FLS传感器测量得到一装设于工件台上的第一基准板的上表面的第二垂向位置。