[发明专利]测试LED芯片参数的方法有效
| 申请号: | 201910660037.X | 申请日: | 2019-07-22 |
| 公开(公告)号: | CN112259644B | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
| 发明(设计)人: | 郑军;李琳琳;齐国健;闫宝华;王成新 | 申请(专利权)人: | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司: | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人: | 黄晓燕 |
| 地址: | 261061 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 测试 led 芯片 参数 方法 | ||
本发明实施例公开了测试LED芯片参数的方法,包括步骤:S1,对芯片进行半切操作,形成测试点;S2,对芯片进行参数测试,输出芯片参数测试结果及各参数的Mapping图;S3,全切,形成若干颗独立的管芯;S4,扩膜,使所述管芯之间产生间隙;S5,对应Mapping图,划定参数范围,并夹取划定范围内的管芯,放置到铜板上;S6,对管芯逐一进行扎测,输出单颗管芯参数测试结果;S7,将芯片参数测试结果与管芯参数测试结果进行对比,若两测试结果符合差异率标准,测试通过。通过对全切后的管芯进行扎测,将芯片测试参数与管芯扎测参数对比,提高了对芯片测试参数的准确性监控,保证了产品性能参数的准确性,提升产品可靠性。
技术领域
本发明涉及LED(Light Emitting Diode,发光二极管)芯片测试技术领域,具体地说是测试LED芯片参数的方法。
背景技术
LED被称为第四代照明光源或绿色光源,具有节能、环保、寿命长、体积小等特点,广泛应用于各种指示、显示、装饰、背光源、普通照明和城市夜景等领域。根据使用功能的不同,可以将其划分为信息显示、信号灯、车用灯具、液晶屏背光源、通用照明五大类。LED芯片发光效率高,颜色范围广,使用寿命长,已被广泛应用于大屏显示、景观照明、交通信号灯、汽车状态显示等各个领域。随着集成电路技术的进步和发展,产品更趋向于多功能化,集成度要求越来越高,应用的范围宽度及深度也越来越广。
在LED芯片制备工艺中,经过前道的光照、蒸镀、研磨等制程后芯片主要制程已基本完成,后道进行测试验证芯片的参数性能。通过每片芯片参数的Mapping图对切割后变成一颗颗独立管芯的芯片进行不同参数范围内分频,下游封装厂会根据不同的参数进行不同的封装或进行不同IC(Integrated Circuit集成电路)贴片的工艺调整。因此,芯片的参数就代表了该芯片的身份证,不同的芯片参数范围是不能混用的,所以对芯片参数的准确性提出了更高的要求。
现有对LED芯片参数的测试是在未进行全透切前进行,切割后芯片需要进行分包处理,即将相同参数段的芯片分在一起,作业过程中存在不同参数段的芯片混在一起的概率,不能保证封装参数或贴片参数与LED芯片本身参数的准确对应。
发明内容
本发明实施例中提供了测试LED芯片参数的方法,以解决现有技术中参数测试仅在全透切之前,不能保证封装参数或贴片参数与LED芯片本身参数准确对应的问题。
为了解决上述技术问题,本发明实施例公开了如下技术方案:
本发明提供了一种测试LED芯片参数的方法,包括以下步骤:
S1,对芯片进行半切操作,形成测试点;
S2,基于所述测试点,对芯片进行参数测试,输出芯片参数测试结果及各参数的Mapping图;
S3,对芯片进行全切,形成若干颗独立的管芯;
S4,对全切后的芯片进行扩膜,使所述管芯之间产生间隙;
S5,对应Mapping图,划定参数范围,并夹取参数在划定范围内的管芯,放置到铜板上;
S6,对铜板上的管芯逐一进行扎测,输出单颗管芯参数测试结果;
S7,将步骤S2中芯片参数测试结果与步骤S6中的管芯参数测试结果进行对比,若两测试结果符合差异率标准,则当前LED芯片参数测试通过。
进一步地,所述步骤S1中,将LED芯片吸附在锯片机半切工作盘上进行半切操作;设置刀片高度为100-160μm,切割速度为10-70mm/秒,锯片刀刀刃伸出量为550-610μm,切割槽宽度为15-20μm,微透切的深度为芯片厚度的20%~25%。
进一步地,所述步骤S2中,设定测试电流,测试电流的流通时间为1-15ms。
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