[发明专利]电路装置、检测器、检查装置和电路板的翘曲调节方法有效
| 申请号: | 201910623607.8 | 申请日: | 2019-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN110716124B | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
| 发明(设计)人: | 彼末浩一 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01B21/20;H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电路 装置 检测器 检查 电路板 曲调 方法 | ||
1.一种具有电路板的电路装置,其特征在于,包括:
支承所述电路板的箱体;和
调节由所述箱体支承的所述电路板的翘曲的翘曲调节机构,
所述电路板通过其一部分固定于所述箱体而被该箱体支承,
所述翘曲调节机构包括:
基准部件,在将所述电路板的没有固定于所述箱体的部分作为非固定部时,其以与支承于所述箱体的所述电路板的所述非固定部隔开间隔的状态安装于该箱体;和
距离调节机构,其调节所述电路板的所述非固定部与所述基准部件的距离,以使所述电路板发生变形,
所述距离调节机构具有贯通部件,该贯通部件贯通所述电路板的所述非固定部和所述基准部件,且其一侧固定于所述非固定部,另一侧固定于所述基准部件,
通过所述贯通部件对所述基准部件的固定位置的调节和对所述非固定部的固定位置的调节的至少一者,调节所述距离。
2.一种在其与被检查体之间收发电学检查用的电信号的检测器,其特征在于,包括:
用于所述电学检查的电路板;
支承所述电路板的箱体;和
调节由所述箱体支承的所述电路板的翘曲的翘曲调节机构,
所述电路板通过其一部固定于所述箱体而被该箱体支承,
所述翘曲调节机构包括:
基准部件,其在将所述电路板的没有固定于所述箱体的部分作为非固定部时,以与支承于所述箱体的所述电路板的所述非固定部隔开间隔的状态安装于该箱体;和
距离调节机构,其调节所述电路板的所述非固定部与所述基准部件的距离,以使所述电路板发生变形,
所述距离调节机构具有贯通部件,该贯通部件贯通所述电路板的所述非固定部和所述基准部件,且其一侧固定于所述非固定部,另一侧固定于所述基准部件,
通过所述贯通部件对所述基准部件的固定位置的调节和对所述非固定部的固定位置的调节的至少一者,调节所述距离。
3.如权利要求2所述的检测器,其特征在于:
所述贯通部件是螺栓,
具有用于将所述螺栓的所述一侧固定于所述基准部件的、与所述螺栓螺合的第1调节用螺母和第2调节用螺母,
所述第1调节用螺母设置于所述电路板与所述基准部件之间的位置,
所述第2调节用螺母设置于在其与所述第1调节用螺母之间夹着所述基准部件的位置。
4.如权利要求2或3所述的检测器,其特征在于:
具有插入在设置于所述电路板的连接器中的其它电路板。
5.如权利要求2或3所述的检测器,其特征在于:
所述电路板与配置于该检测器的外部的探针卡电连接。
6.一种检查装置,其特征在于,包括:
权利要求2~5中任一项所述的检测器;和
定位部,其能够载置被检查体,并进行被载置的该被检查体与所述检测器的定位。
7.一种电路装置所具有的电路板的翘曲调节方法,其特征在于,包括:
在所述电路装置的箱体固定所述电路板的一部分而用该箱体支承电路板的步骤;和
在将所述电路板中的没有固定于所述箱体的部分作为非固定部时,调节从基准部件到所述电路板的所述非固定部的距离,从而使所述电路板变形来调节其翘曲的步骤,其中,所述基准部件以与支承于所述箱体的状态的所述电路板的所述非固定部隔开间隔的方式安装于所述箱体,
其中,所述电路装置中设置有贯通部件,该贯通部件贯通所述电路板的所述非固定部和所述基准部件,且其一侧固定于所述非固定部,另一侧固定于所述基准部件,
通过所述贯通部件对所述基准部件的固定位置的调节和对所述非固定部的固定位置的调节的至少一者,调节所述距离。
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