[发明专利]一种智能测距的晶圆寻边装置和方法

权利要求书

1.一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；

所述寻边装置底座连接所述载台；

所述旋转手臂固定设置于所述寻边装置底座上，所述旋转手臂设置于所述载台上方；

所述载台用于存放待测物；

所述红外感应器设置于所述旋转手臂上，所述红外感应器用于：对待测物中心点进行定位；

所述伺服马达红外测距手臂设置于所述旋转手臂上，所述红外线测距传感器设置于所述伺服马达红外测距手臂上；

所述伺服马达红外测距手臂用于：对待测物边缘进行定位；

所述红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。

2.根据权利要求1所述的一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，

所述红外感应器还用于：在待测物上定位任意两条平行线，判断所述两条平行线的垂直平分线是否重叠，若所述两条平行线的垂直平分线重叠，则取所述两条平行线与待测物边缘相交的任意三个点a、b和c，通过a、b和c三个点定位得待测物中心点。

3.根据权利要求1所述的一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，

所述旋转手臂还用于：带动伺服马达红外测距手臂旋转，进而带动红外线测距传感器旋转。

4.根据权利要求1所述的一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，

所述旋转手臂为360°旋转手臂。

5.一种智能测距的晶圆寻边方法，应用于权利要求1到4任意一项所述的晶圆寻边装置，其特征在于，包括步骤：

通过红外感应器对待测物中心点进行定位；

通过伺服马达红外测距手臂对待测物边缘进行定位；

通过红外线测距传感器测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，通过红外线测距传感器测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X，计算得X与L的差值；

判断所述差值是否大于预设值，若所述差值大于预设值，则判定该边缘位置为notch角。

6.根据权利要求5所述的一种智能测距的晶圆寻边方法，其特征在于，

所述“通过红外感应器对待测物中心点进行定位”，还包括步骤：

通过红外感应器在待测物上定位任意两条平行线，判断所述两条平行线的垂直平分线是否重叠，若所述两条平行线的垂直平分线重叠，则取所述两条平行线与待测物边缘相交的任意三个点a、b和c，通过a、b和c三个点定位得待测物中心点。

7.根据权利要求5所述的一种智能测距的晶圆寻边方法，其特征在于，

所述“通过红外线测距传感器测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X”，还包括步骤：

通过旋转手臂带动伺服马达红外测距手臂旋转，进而带动红外线测距传感器旋转，进而通过红外线测距传感器测得待测物边缘任意位置与红外线测距传感器的距离X。