[发明专利]多层石墨烯及其制备方法有效
| 申请号： | 201910618248.7 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110205603B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 彭海琳;王雅妮;邓兵;刘忠范 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/455;C23C16/02 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 司丽琦;于宝庆 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 石墨 及其 制备 方法 | ||
1.一种多层石墨烯的制备方法，其特征在于，包括步骤如下：
提供一铜箔；
将所述铜箔贴合于基底上；
退火处理所述贴合基底后的铜箔；及
于所述退火处理后的铜箔表面进行化学气相沉积生长石墨烯，得所述多层石墨烯；
其中，所述铜箔与所述基底之间具有间隔，且所述间隔小于10μm。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积过程中，接近所述基底一侧的铜箔表面通过的气流为分子流，远离所述基底一侧的铜箔表面通过的气流为层流。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，通入碳源和保护气于化学气相沉积系统进行所述化学气相沉积，所述碳源选自甲烷、乙烷、乙烯和乙炔中的一种或多种。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积系统采用管径为1～D英寸的石英管，其中D1，所述碳源的流量为0.5D2～D2sccm，所述保护气与所述碳源的流量比为500：1～2000：1。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积的压力为1kPa～4kPa，所述生长时间为1小时～5小时。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述基底材料熔点高于所述退火处理的温度。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述基底为石英或刚玉。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述退火处理在氢气气氛下进行，所述氢气的流量不小于50sccm，所述退火处理的温度为950℃～1000℃，所述退火处理的时间为10min～60min。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铜箔贴合于所述基底前，对所述铜箔进行电化学抛光。
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
