[发明专利]一种基于非谐振辅助的纳米压印装置

权利要求书

1.一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，包括工作台、Y轴位移平台、Z向振动平台、冷却装置、加热装置、衬底卡盘、衬底、X-Z轴位移平台、压印装置，其中，工作台置于水平面，Y轴位移平台通过螺钉固定在底板上，Z向振动平台通过螺钉固定在Y轴位移平台上，冷却装置固定在盛物台上，加热装置通过螺钉固定在衬底卡盘外，衬底卡盘通过螺钉固定在冷却装置上，衬底固定在衬底卡盘中，X-Z轴位移平台通过螺钉固定在橫柱上，压印装置通过螺钉固定在X-Z轴位移平台上。

2.根据权利要求1所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的工作台包括底板、支撑板、支撑柱、橫柱，其中，底板放置于水平面上，支撑板固连在底板上，支撑柱固连在底板上，橫柱固连在支撑板与支撑柱上。

3.根据权利要求1所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的Z向振动平台包括固定板、连接板、铰链结构框一、铰链结构框二、固定框一、固定框二、盛物台，其中，固定板通过螺钉固定在Y轴位移平台上，连接板通过螺钉固定在固定板上，铰链结构框一固连于连接板一侧，铰链结构框二固连于连接板另一侧，固定框一通过螺钉与铰链结构框一相连，固定框二通过螺钉与铰链结构框二相连，盛物台通过螺钉固定在固定框一与固定框二上。

4.根据权利要求3所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的铰链结构框一包括振动平台一、预紧螺钉一、铰链结构一、压电陶瓷一、铰链结构二、预紧螺钉二、振动平台二，其中，铰链结构一与铰链结构二固连于振动平台一与振动平台二之间，压电陶瓷一通过预紧螺钉一与预紧螺钉二固定于铰链结构一与铰链结构二之间。

5.根据权利要求3所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的铰链结构框二包括振动平台三、预紧螺钉三、铰链结构三、压电陶瓷二、铰链结构四、预紧螺钉四、振动平台四，其中，铰链结构三与铰链结构四固连于振动平台三与振动平台四之间，压电陶瓷二通过预紧螺钉三与预紧螺钉四固定于铰链结构三与铰链结构四之间。

6.根据权利要求3中所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的铰链结构框二与铰链结构框一结构完全相同。

7.根据权利要求4中所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的铰链结构一包括直圆型柔性铰链一、次级振动平台一、直圆型柔性铰链二，其中，振动平台一通过直圆型柔性铰链与次级振动平台一相连，次级振动平台一通过直圆型柔性铰链二与振动平台二相连。

8.根据权利要求4中所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的铰链结构二包括直圆型柔性铰链三、次级振动平台二、直圆型柔性铰链四，其中，振动平台一通过直圆型柔性铰链三次级振动平台二相连，次级振动平台二通过直圆型柔性铰链四与振动平台二相连。

9.根据权利要求4中所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的铰链结构二与铰链结构一完全相同。

10.根据权利要求1中所述的一种基于非谐振辅助的纳米压印装置，其特征在于，所述的压印装置包括固定板、吸气板、模板，吸气板与固定板固连，吸气板外连真空泵，且吸气板下方吸附有模板。