[发明专利]一种探针卡全自动干式清洁设备

说明书

本发明提供一种探针卡全自动干式清洁设备。所述探针卡全自动干式清洁设备包括：工作台；控制槽，所述控制槽开设于所述工作台的内部，所述控制槽的内部设置有旋转结构，所述旋转结构包括转动轴，所述转动轴的底端转动连接于所述控制槽的内壁的底部，所述转动轴的顶端贯穿所述工作台并延伸至所述工作台的顶部。本发明提供的探针卡全自动干式清洁设备，不仅具有前后左右的运动功能，而且具有旋转式运动功能，便于雷射枪本体对探针卡不方向的检测，以及便于视觉检测仪更加全面的检测，大大的提高了检测效果，以及后续清洁的效果，很好的取代人力方式进行探针卡检测与保养，效率可大幅提升，系统设定，操作简便，无需专业卡片维修培训。

技术领域

本发明涉及探针卡领域，尤其涉及一种探针卡全自动干式清洁设备。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向32奈米以下挺进。目前产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等。

然而现有的探针卡清洁设备存在大量的缺点，比如现有的探针卡清洁设备不能很好的对探针卡进行检测和清洁，通常是采用人工手动检测，人工检测有误差与判断标准偏差异，人员培训时间长，人力成本增加，使用无水酒精或是纯水造成环境污染。

因此，有必要提供一种探针卡全自动干式清洁设备解决上述技术问题。

发明内容

本发明提供一种探针卡全自动干式清洁设备，解决了不能很好的对探针卡进行检测和清洁，以及人工检测有误差与判断标准偏差异的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供的探针卡全自动干式清洁设备包括：工作台；控制槽，所述控制槽开设于所述工作台的内部，所述控制槽的内部设置有旋转结构，所述旋转结构包括转动轴，所述转动轴的底端转动连接于所述控制槽的内壁的底部，所述转动轴的顶端贯穿所述工作台并延伸至所述工作台的顶部；移动结构，所述移动结构设置于所述转动轴延伸至所述工作台的顶部的一端，所述移动结构包括活动槽，所述活动槽的底部的两侧转动连接于所述工作台的顶部，所述活动槽的内壁的正面和背面之间滑动连接有箱体；顶杆，所述顶杆的底端固定于所述箱体的顶部；位移结构，所述位移结构设置于所述顶杆的顶端，所述位移结构包括U型块，所述U型块的底部固定于所述顶杆的顶端，所述U型块的内壁的底部滑动连接有滑动箱，所述滑动箱的内壁的底部滑动连接有直齿板；支撑架，所述支撑架固定于所述滑动箱的顶部，所述支撑架的顶部固定连接有操作板，所述操作板的顶部开设有限位孔；夹紧结构，所述夹紧结构设置于所述限位孔的内部；第一固定板，所述第一固定板的底部固定于所述工作台的顶部的一侧；第二固定板，所述第二固定板的底部固定于所述工作台的顶部的另一侧，所述第二固定板的顶部和所述第一固定板的顶部之间固定连接有顶板；雷射枪本体，所述雷射枪本体设置于所述第一固定板的一侧；计算机本体，所述计算机本体的底部固定于所述顶板的顶部的一侧；PLC控制器，所述PLC控制器设置于所述顶板的顶部的另一侧；视觉检测仪，所述视觉检测仪设置于所述顶板的底部。

优选的，所述转动轴位于所述控制槽的内部的外表面固定连接有蜗轮，所述控制槽的内壁的顶部固定连接有马达，所述马达的输出轴固定连接有与所述蜗轮相啮合的蜗杆。

优选的，所述箱体的内壁的一侧转动连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒的内部螺纹连接有丝杆，所述丝杆的两端均贯穿所述箱体并延伸至所述箱体的外部，所述丝杆延伸至所述箱体的外部的两端分别固定于所述活动槽的内壁的两侧。

优选的，所述螺纹套筒的外表面固定连接有第一皮带轮，所述箱体的内壁的正面固定连接有第一电机。

优选的，所述第一电机输出轴的外表面固定连接有第二皮带轮，所述第二皮带轮的外表面与所述第一皮带轮的外表面通过皮带传动连接。