[发明专利]使用窄带光学滤波器的高分辨率单光电二极管光谱仪

权利要求书

1.一种光学设备，包括：

窄带光学滤波器，其用于：

接收在选定入射角下的光束，其中通过在所述光学设备中包括的转向元件来使所述光束在所述选定入射角下由所述窄带光学滤波器接收；以及

输出与所述光束相关联的经过滤的光束，其中所述经过滤的光束的波长取决于所述光束在所述窄带光学滤波器上的所述选定入射角；以及

光电二极管，其在所述经过滤的光束被所述窄带光学滤波器输出之后接收所述经过滤的光束的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述窄带光学滤波器是超窄带通(UNBP)滤波器。

3.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述转向元件包括微机电系统(MEMS)反射镜。

4.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述转向元件包括一组弯曲反射光学元件。

5.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述窄带光学滤波器被布置成将所述经过滤的光束发送到样品，使得所述经过滤的光束的至少一部分被所述样品反射或透射到所述光电二极管。

6.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述窄带光学滤波器被布置成在所述光束被样品反射或透射之后接收所述光束。

7.根据权利要求6所述的光学设备，还包括准直元件以将所述光束发送到所述转向元件。

8.根据权利要求1所述的光学设备，还包括发射器以发射所述光束。

9.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述转向元件包括发射所述光束的发射器，

其中所述发射器是多个发射器中的一个，每个发射器被布置成相对于所述窄带光学滤波器在不同的角度下发射相应的光束。

10.根据权利要求9所述的光学设备，还包括光导管以将所述经过滤的光束引导至样品。

11.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述光学设备是光谱仪。

12.一种方法，包括：

由在光学设备中包括的窄带光学滤波器接收在选定入射角下的光束，其中通过在所述光学设备中包括的转向元件来使所述光束在所述选定入射角下由所述窄带光学滤波器接收；

由所述窄带光学滤波器输出与所述光束相关联的经过滤的光束，其中所述经过滤的光束的波长由所述选定入射角控制；以及

在所述经过滤的光束由所述窄带光学滤波器输出之后由在所述光学设备中包括的光电二极管接收所述经过滤的光束的一部分。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述光电二极管在所述经过滤的光束与样品相互作用之后接收所述经过滤的光束的所述一部分。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述窄带光学滤波器是超窄带通(UNBP)滤波器。

15.根据权利要求12所述的方法，其中所述转向元件包括微机电系统(MEMS)反射镜和一组弯曲反射光学元件。

16.根据权利要求12所述的方法，还包括由在所述光学设备中包括的发射器发射所述光束。

17.一种光谱仪，包括：

转向元件，其引导光束使得所述光束在特定入射角下入射在窄带光学滤波器上；

所述窄带光学滤波器，其过滤所述光束，以便产生经过滤的光束，其中所述经过滤的光束的波长取决于所述特定入射角；以及

光电二极管，其接收与光谱测量的执行相关联的所述经过滤的光束的至少一部分。