[发明专利]一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉在审
| 申请号: | 201910557434.4 | 申请日: | 2019-06-25 |
| 公开(公告)号: | CN110184645A | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
| 发明(设计)人: | 魏守冲 | 申请(专利权)人: | 江苏守航实业有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06 |
| 代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 高志军 |
| 地址: | 221600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 冷却箱体 上端 转动 连接管 底座 晶体半导体材料 冷却机构 储水槽 从动杆 冷却管 冷却液 铸锭炉 炉体 从动齿轮 混合冷却 降温冷却 内部连通 主动齿轮 混合液 上端面 主动杆 生长 盘绕 自转 融合 贯穿 | ||
1.一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉,包括底座(5),其特征在于,所述底座(5)的上端面的左侧固定连接有炉体(2),所述炉体(2)上盘绕有冷却管(4),所述底座(5)的上端面的右侧固定连接有储水槽(6),所述储水槽(6)上端设置有冷却机构,所述冷却机构包括冷却箱体(14),所述冷却箱体(14)的上端通过连接管(15)贯穿冷却箱体(14)的上端面与冷却箱体(14)内部连通,冷却管(4)与连接管(15)之间固定连接,所述连接管(15)与冷却箱体(14)之间固定连接,所述冷却箱体(14)内部的底端面固定连接有电机壳(20),所述电机壳(20)内固定安装有双轴电机(10),所述双轴电机(10)的上端面的输出端竖直固定连接有主动杆(19),所述主动杆(19)转动连接在电机壳(20)内,所述主动杆(19)上固定套设有固定板(11),所述固定板(11)上对称设置有四个连接套(12),每个所述连接套(12)内均转动连接有从动杆(18),每个所述从动杆(18)上均对称固定连接有多个搅拌叶(13),每个所述从动杆(18)的上端面均固定连接有从动齿轮(17),相邻的两个从动齿轮(17)之间啮合连接,所述主动杆(19)的上端固定连接有主动齿轮(16),所述主动齿轮(16)的做两侧分别与从动齿轮(17)啮合连接,所述冷却箱体(14)的上端面开设有输液口,所述输液口与转有冷却液的冷却箱相连接,所述冷却箱体(14)的下端面对称固定连接有两个连通管(21),每个所述连通管(21)的下端均储水槽(6)内连通,所述炉体(2)的上端面设置有炉盖(3)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉,其特征在于,所述双轴电机(10)下端面的输出端通过连接轴(22)贯穿储水槽(6)的上端面并固定连接有螺旋叶(7),所述螺旋叶(7)的下端转动连接在储水槽(6)的底端面上。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉,其特征在于,所述冷却管(4)的下端与储水槽(6)的底端面相连通,所述冷却管(4)的下端固定连接有水泵(8)。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉,其特征在于,所述底座(5)的底端面对称开设有四个滑轮槽(24),每个所述滑轮槽(24)内均固定连接有伸缩气缸(23)。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉,其特征在于,每个所述伸缩气缸(23)的下端面的输出端均通过连接板转动连接滑轮(9),每个所述滑轮(9)均滑动连接在地面上。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶体半导体材料的生长的多铸锭炉,其特征在于,所述底座(5)的底端面对称固定连接有四个支撑腿(1)。
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