[发明专利]一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法

权利要求书

1.一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；所述集成管线系统包括若干两端均连接有控制阀的连接管，所述连接管一端的控制阀通过接头与待清洗气瓶连接；所述抽气系统包括转接组件，所述转接组件与连接管另一端的控制阀连接，转接组件分别设置带有控制阀的第一出口与机械泵连接，带有控制阀的第二出口与分子泵连接，第三出口通过管路与分析系统连通，所述分子泵出口通过带有控制阀的管路与机械泵入口连接；所述分析系统为带有电子倍增器的质谱仪；所述控制系统包括电源控制面板及分子泵控制器，所述电源控制面板设置有除分子泵以外的电气件开关，所述分子泵控制器设置有安装在转接组件内的真空计；

所述转接组件的主体为圆柱形腔体。

2.根据权利要求1所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述清洗装置中，所述连接管为不锈钢波纹管，所述分子泵与转接组件之间的控制阀为插板阀，其余控制阀均为隔膜阀。

3.根据权利要求2所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：腔体内贯穿有连通的转接管，所述转接管上设置出口连接一段钢性加长管，通过加长管与各不锈钢波纹管的一端隔膜阀连接。

4.根据权利要求2所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述隔膜阀与其连接的任意组件的连接面设置密封圈密封后采用卡箍卡紧。

5.根据权利要求1所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述机械泵为无油耐腐蚀干泵，抽速不小于7L/s。

6.根据权利要求1所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述气瓶高真空清洗装置的极限真空度能够达到10^-8mbar。

7.根据权利要求1-6任一项所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述气瓶高真空清洗装置还包括加热系统，所述加热系统为带温控的环扣式的加热带，所述加热带可以贴合气瓶瓶身表面进行加热。

8.一种利用权利要求1-7任一项的气瓶高真空清洗装置进行气瓶抽洗的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将气瓶与集成管线系统连通；

2)在保证分子泵与转接组件未连通的前提下，开启机械泵并与转接组件连通进行抽真空操作；

3)待真空计测得清洗装置的真空度达到10^-2mbar后，关闭机械泵与转接组件间的控制阀，打开分子泵与机械泵之间的控制阀，开启分子泵并打开分子泵与转接组件间的控制阀；

4)分子泵抽真空将洗装置的真空度抽达到10^-6mbar及以下，可开启质谱进行进样分析，合格后完成气瓶清洗操作。

9.根据权利要求8所述的气瓶抽洗的方法，其特征在于：在气瓶清洗过程中或一批次气瓶清洗完成后，可在线对气瓶进行更换，关闭气瓶自身阀门及气瓶与装置连接的控制阀，取下气瓶并更换新气瓶，然后关闭分子泵与转接组件间的控制阀，重复步骤(2)-(4)。

10.根据权利要求8所述的气瓶抽洗的方法，其特征在于，当清洗清洁度要求较高或含有易吸附杂质的气瓶时，在气瓶开始抽洗之前或抽洗过程中将加热带贴合钢瓶瓶身加热，并根据杂质气体的含量及易吸附程度设定适宜的加热温度。