[发明专利]半导体量子点/石墨烯范德瓦尔斯结柔性器件的构筑方法有效
| 申请号: | 201910493441.2 | 申请日: | 2019-06-06 |
| 公开(公告)号: | CN110148643B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
| 发明(设计)人: | 何丹农;蔡葆昉;卢静 | 申请(专利权)人: | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0336 | 分类号: | H01L31/0336;H01L31/0352;H01L31/0392;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人: | 董梅 |
| 地址: | 201109 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 量子 石墨 烯范德 瓦尔 柔性 器件 构筑 方法 | ||
1.一种表面光伏性能良好的半导体量子点/石墨烯范德瓦尔斯结薄膜柔性器件的构筑方法,其特征在于,通过柔性衬底机械剥离化学气相沉积法制备的单层石墨烯的方法,并在石墨烯上修饰半导体量子点,控制器件退火温度和时间,优化半导体量子点与石墨烯之间的范德瓦尔斯接触,成功构筑了表面光伏响应性能理想的半导体量子点/石墨烯范德瓦尔斯结薄膜柔性表面光伏器件,包括如下步骤:
1)将通过化学气相沉积法制备的单层石墨烯样品湿法转移到特种纸上,置于热板上30℃ 烘60s, 得到衬底为特种纸的单层石墨烯样品;
2)将压敏胶带贴在步骤1)的单层石墨烯薄膜上,并给压敏胶带施加适当压力,使得压敏胶带与其所覆盖的石墨烯结合牢固;
3)将步骤2)中与石墨烯牢固结合的压敏胶带从特种纸上揭下,即得到在柔性衬底上的单层石墨烯样品;
4)将用溶液法制备的半导体量子点做超声分散处理后滴加在步骤3)中所得样品,再将所得柔性衬底上的半导体量子点/石墨烯杂化薄膜放入烘箱,真空条件下60℃退火1小时得到所需产物,所述量子点为MoS2、ZnO、PbS或C60量子点。
2.根据权利要求1所述的构筑方法,其特征在于,按如下步骤:
1)将通过化学气相沉积法制备的单层石墨烯样品湿法转移到特种纸上,置于热板上30℃烘 60s, 得到衬底为特种纸的单层石墨烯样品;
2)将压敏胶带贴在该衬底为特种纸的单层石墨烯薄膜上,并给压敏胶带施加适当压力,使得压敏胶带与其所覆盖的石墨烯结合牢固;
3)将与石墨烯牢固结合的压敏胶带从特种纸上揭下,即得到在柔性衬底上的单层石墨烯样品;
4)将C60溶解于1,2,3-三甲基苯溶剂中做超声分散处理后滴加在柔性衬底上的单层石墨烯薄膜样品上,再将所得柔性衬底上的C60/石墨烯杂化薄膜放入烘箱,真空条件下60℃退火1小时,即可获得表面光伏性能良好的半导体量子点/石墨烯范德瓦尔斯结薄膜柔性器件。
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