[发明专利]基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法

权利要求书

1.基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，包括如下步骤：初始化数据步骤、谐振频率自动搜索流程步骤、基于扫频数据机制的跟踪测频流程步骤、惯性导航流程步骤；

101）初始化数据设置和检测步骤：对异常监控、统计控制、测频策略和研磨程序的参数进行初始化设置，并对研磨机控制模块进行自检，确保设备控制正常；

102）谐振频率自动搜索流程步骤：步骤101）设置后，通过谐振频率自动搜索、自动搜索频率切换参数设置和自动搜索完成数据处理，来实行自动搜索；

103）跟踪测试流程步骤：通过步骤102）自动搜索成功后，进入跟踪测试，其包括进行参数初始化，扫频参数设置、进行DDS扫频，扫频数据的处理，数据的进一步分析处理和对参数的重新设置；

其中，扫频数据的处理包括对紧急暂停的操作，接着对DDS扫频数据采集是否完成的判断，并根据跟踪测频谐振频率搜索方法来获得是否搜索成功的判断，如果以上判断为无紧急暂停的操作、DDS扫频数据采集完成，但搜索成功判断为不成功，则进入数据的进一步分析处理，若无紧急暂停的操作、DDS扫频数据采集完成，搜索成功判断为成功，则对峰峰值是否大于约束值进行判断，判断为否，则进入数据的进一步分析处理，判断为是，则由谐振频率值判断是不是在频宽约束范围内，如果判断为不是，则进入数据的进一步分析处理，如果判断为是，则将谐振频率存入数组，判断是否收到圈数信息，如果收到圈数信息，则计算散差并判断圈数是否大于速率统计约束值，如果未收到圈数信息，则直接判断圈数是否大于速率统计约束值，如果是则通过最小二乘法获取速率再计算频率平均值，如果不大于速率统计约束值，则跳过获取速率，直接计算频率平均值，并转向数据的进一步分析处理；

104）惯性导航流程步骤：在步骤103）处理异常数据时启动惯性导航，根据相应数据运用模拟参数弥补部分数据的缺失，再将补充完的数据写入DDS，返回步骤103）中的DDS扫频。

2.根据权利要求 1 所述基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，所述步骤101）中的参数包括异常监控参数、统计控制参数、测频策略参数、研磨程序参数，用于在线测频过程中的各种异常控制和统计控制。

3.根据权利要求 1 所述基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，所述步骤102）谐振频率自动搜索流程中谐振频率自动搜索包括数据初始化，测频和扫频参数设置，在自动搜索中DDS数据采集未完成，则继续进行自动搜索谐振频率，进行DDS数据采集，如果采集完成，则进行频率切换时间是否到达的判断，如果到达，且当前搜索频段的起始频率已经小于石英晶片设置的研磨起始频率，则进入自动搜索完成数据处理流程，否则进行自动搜索频率切换参数设置流程，对参数进行重新设置，继续数据采集，如果未到达，则继续进行数据采集。

4.根据权利要求 1所述基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，所述步骤103）、步骤104）中DDS扫频方式为从起始频率扫频到截止频率，再从截止频率扫频到起始频率，这样周而复始。

5.根据权利要求 1所述基于扫频数据机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，所述数据的进一步分析处理包括对获取的数据与设置的监控参数进行比对，其包括对频率散差、研磨速率和研磨圈数的判断，并与目标频率进行比对，其中在指定圈数内测到的谐振次数小于设定的次数，提示“测频异常”，并进入惯性导航流程。