[发明专利]高效选择性发射极太阳能电池扩散工艺有效
| 申请号： | 201910470794.0 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110190153B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 瞿辉;曹玉甲;孙玉峰 | 申请（专利权）人： | 江苏顺风光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068 |
| 代理公司： | 常州知融专利代理事务所(普通合伙) 32302 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213169 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高效 选择性 发射极 太阳能电池 扩散 工艺 | ||
1.一种高效选择性发射极太阳能电池扩散工艺，其特征在于包括以下步骤：
1)进舟：时间500-600s，温度750-780℃，大氮2-5slm；
2)升温：时间200-300s，温度750-780℃，大氮1-2slm；
3)恒温：时间100-200s，温度750-780℃，大氮0.5-1slm；
4)氧化：时间300-400s，温度790-800℃，大氮1-5slm，氧气流量1-2slm；
5)沉积1：时间400-600s，温度790-800℃，大氮1-5slm，氧气流量0.5-1.5slm，小氮流量0.5-1.2slm；
6)推进1：时间500-800s，温度800-830℃，大氮1-5slm，氧气流量0.5-1slm；
7)沉积2：时间400-600s，温度800-830℃，大氮1-5slm，氧气流量0.5-1.5slm，小氮流量0.5-1slm；
8)推进2：时间500-800s，温度830-850℃，大氮1-5slm，氧气流量0.5-1slm；
9)氧化：时间500-700s，温度850-700℃，大氮流量1-8slm，氧气1-6slm；
10)沉积3：时间400-600s，温度700-850℃，大氮流量1-8slm，氧气1-6slm，小氮流量0.1-2.5slm；
11)升温:时间600-1000s，温度750-900℃，大氮流量1-8slm；
12)降温：时间400-600s，温度900-700℃，大氮流量1-10slm，氧气流量0.1-5slm；
13)沉积4：时间400-600s，温度850-700℃，大氮流量1-10slm，氧气流量0.1-5slm，小氮流量0.1-2slm；
14)降温：时间200-400s，温度780-750℃，大氮2-5slm；
15)取舟：时间500-600s，温度750-780℃，大氮2-5slm。
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