[发明专利]一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备

说明书

本发明公开一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备，管道清洁装置包括牵引机构和清洁机构；所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出目标管道；所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。本发明实施例能够对目标管道进行清洁，清除目标管道内壁的沉积物，保证目标管道通畅，以解决真空泵异常宕机的问题。

技术领域

本发明涉及刻蚀领域，尤其涉及一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备。

背景技术

在目前的集成电路的制造过程中，薄膜刻蚀有干法刻蚀和湿法刻蚀两种，对于一般a-Si、SiNx、SiOx，以及一些金属膜的刻蚀多采用干法刻蚀。

具体的，刻蚀气体被导入反应室并与待刻蚀工件的表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。使用干法刻蚀会有大量副产物生成，需通过排气管道排出，经厂务酸排管道至厂务喷淋塔二次处理。在实际生产过程中，经常会遇到真空泵宕机的问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备，能够对目标管道进行清洁，清除目标管道内壁的沉积物，保证目标管道通畅。

第一方面，本发明实施例提供了一种管道清洁装置，该装置包括牵引机构和清洁机构；

所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出目标管道；

所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁。

可选的，所述牵引机构包括牵引驱动部和牵引执行部，所述牵引执行部与所述牵引驱动部连接，所述清洁机构设置于所述牵引执行部上，所述牵引驱动部用于通过驱动所述牵引执行部牵引所述清洁机构；

优选地，所述清洁机构包括清洁棉。

可选的，所述牵引驱动部包括第一电机和第二电机，所述牵引执行部包括牵引绳，所述牵引绳的两端分别连接至所述第一电机和所述第二电机，所述牵引绳可穿设于所述目标管道中。

可选的，所述牵引机构还包括牵引辅助部，所述牵引辅助部用于辅助调节所述牵引绳的位置；

优选地，所述牵引辅助部包括第一牵引滑轮、第一滑轮伸缩杆、第二牵引滑轮和第二滑轮伸缩杆，所述第一牵引滑轮固定于所述第一滑轮伸缩杆的一端，所述第二牵引滑轮固定于所述第二滑轮伸缩杆的一端，所述牵引绳可经分别置于所述目标管道两端的所述第一牵引滑轮和所述第二牵引滑轮穿设于所述目标管道中。

第二方面，本发明实施例提供了一种管道，该管道中设置有如本发明第一方面所述的管道清洁装置，所述管道包括主管道，所述主管道为目标管道。

可选的，所述管道还包括第一辅助管道和第二辅助管道；

所述第一辅助管道包括相对的第一端和第二端，所述第一辅助管道的侧壁上形成有第一通孔，所述第一辅助管道通过所述第一通孔与所述主管道的一端相连通；所述第一辅助管道包括位于所述第一辅助管道的第一端与所述第一通孔之间的第一分管道，以及位于所述第一辅助管道的侧壁上且与所述第一通孔相对的第二分管道；所述第一分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端封闭；所述第二分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通；

所述第二辅助管道包括相对的第一端和第二端，所述第二辅助管道的侧壁上形成有第二通孔，所述第二辅助管道通过所述第二通孔与所述主管道的另一端相连通；所述第二辅助管道包括位于所述第二辅助管道的第一端与所述第二通孔之间的第三分管道，以及位于所述第二辅助管道的侧壁上且与所述第二通孔相对的第四分管道；所述第三分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端封闭；所述第四分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通；