[发明专利]一种管道清洁装置、管道及刻蚀设备

权利要求书

1.一种管道，其特征在于，所述管道中设置有管道清洁装置，所述管道包括主管道，所述主管道为目标管道，所述管道的一端与刻蚀反应室连接，另一端与真空泵连接；

所述管道清洁装置包括牵引机构和清洁机构；

所述牵引机构用于自动牵引所述清洁机构进入目标管道并在所述目标管道中移动，以及自动牵引所述清洁机构退出所述目标管道；

所述清洁机构用于在所述牵引机构的牵引下对所述目标管道的内壁进行清洁；

所述牵引机构包括牵引驱动部和牵引执行部，所述牵引执行部与所述牵引驱动部连接，所述清洁机构设置于所述牵引执行部上，所述牵引驱动部用于通过驱动所述牵引执行部牵引所述清洁机构；

所述清洁机构包括清洁棉；

所述牵引驱动部包括第一电机和第二电机，所述牵引执行部包括牵引绳，所述牵引绳的两端分别连接至所述第一电机和所述第二电机，所述牵引绳可穿设于所述目标管道中；

所述牵引机构还包括牵引辅助部，所述牵引辅助部用于辅助调节所述牵引绳的位置；

所述牵引辅助部包括第一牵引滑轮、第一滑轮伸缩杆、第二牵引滑轮和第二滑轮伸缩杆，所述第一牵引滑轮固定于所述第一滑轮伸缩杆的一端，所述第二牵引滑轮固定于所述第二滑轮伸缩杆的一端，所述牵引绳可经分别置于所述目标管道两端的所述第一牵引滑轮和所述第二牵引滑轮穿设于所述目标管道中；

在需要对目标管道进行清洁时，首先，第一牵引滑轮通过第一滑轮伸缩杆伸至目标管道的中心轴线处，同时第二电机主动放线，将初始位置在第二电机附近的清洁棉下放至目标管道的中心轴线处；接着，第一电机主动收线，将清洁棉牵引至目标管道，然后，第二牵引滑轮通过第二滑轮伸缩杆伸至目标管道的中心轴线处，从而使得清洁棉可在目标管道内往复移动。

2.根据权利要求1所述的管道，其特征在于，所述管道还包括第一辅助管道和第二辅助管道；

所述第一辅助管道包括相对的第一端和第二端，所述第一辅助管道的侧壁上形成有第一通孔，所述第一辅助管道通过所述第一通孔与所述主管道的一端相连通；所述第一辅助管道包括位于所述第一辅助管道的第一端与所述第一通孔之间的第一分管道，以及位于所述第一辅助管道的侧壁上且与所述第一通孔相对的第二分管道；所述第一分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端封闭；所述第二分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通；

所述第二辅助管道包括相对的第一端和第二端，所述第二辅助管道的侧壁上形成有第二通孔，所述第二辅助管道通过所述第二通孔与所述主管道的另一端相连通；所述第二辅助管道包括位于所述第二辅助管道的第一端与所述第二通孔之间的第三分管道，以及位于所述第二辅助管道的侧壁上且与所述第二通孔相对的第四分管道；所述第三分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端封闭；所述第四分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通；

所述管道清洁装置包括第一电机和第二电机，所述第一电机设置于所述第一分管道中，所述第二电机设置于所述第三分管道中；

所述第一滑轮伸缩杆固定于所述第一分管道中，所述第二滑轮伸缩杆固定于所述第三分管道中；所述第一牵引滑轮可通过所述第一滑轮伸缩杆伸至所述主管道的中心轴线处，以及缩回所述第一分管道中；所述第二牵引滑轮可通过所述第二滑轮伸缩杆伸至所述主管道的中心轴线处，以及缩回所述第三分管道中。

3.根据权利要求2所述的管道，其特征在于，所述第一辅助管道还包括位于所述第一辅助管道的第二端与所述第一通孔之间，且与所述第一分管道相对的第五分管道，所述第五分管道的第一端与所述主管道相连通，第二端与外界相连通，所述第五分管道中设置有第一阀门；

所述第一分管道的第二端形成有第一进液口，所述第一分管道设置有喷淋机构，所述喷淋机构与所述第一进液口相连。

4.根据权利要求3所述的管道，其特征在于，所述第二分管道中设置有第二阀门，所述第四分管道中设置有第三阀门。

5.根据权利要求2所述的管道，其特征在于，所述第三分管道的第二端形成有第二进液口，在所述管道清洁装置的清洁机构通过牵引机构牵引至所述第三分管道中时，所述清洁机构与所述第二进液口相接叠。