[发明专利]一种电镀铜整平剂及其应用的电镀液有效

专利信息
申请号: 201910441505.4 申请日: 2019-05-24
公开(公告)号: CN110158124B 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 罗继业;李真;谭柏照;石明浩;何军;成晓玲;郝志峰 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 林丽明
地址: 510006 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀铜 整平剂 及其 应用 电镀
【说明书】:

发明公开了一种电镀铜整平剂分子及其应用的电镀液。该电镀铜整平剂的化学结构式为式Ⅰ式Ⅱ。本发明的电镀铜整平剂分子是含氮化合物,在电镀铜过程中能够吸附在盲孔口处,将本发明的电镀铜整平剂应用于电镀液中可以达到铜面平整,防止孔口空洞,提升相关填孔率至91~99%,铜面厚度在10~13μm。

技术领域

本发明涉及电路板制备技术领域,更具体地,涉及一种电镀铜整平剂及其制备方法和应用的电镀液。

背景技术

盲孔金属化是实现印制电路板(PCB)层与层之间电器互联的有效手段,更是高密度互联板发展的关键技术之一。。在不含添加剂的酸铜镀液中电镀时,由于盲孔的几何形状导致盲孔底部的电流密度较低,孔口附近的电流密度较大,这样就会造成盲孔底部的沉铜速度较慢而孔口附近较快,从而形成缝隙和空洞,而不能实现盲孔的完全填充。为此,必须在镀液中加入相应的添加剂,它可以起到控制面铜生长,同时又可以提高盲孔底部铜离子的沉积速度,这样就能顺利地实现填孔电镀,也就是所谓的超等角电镀。按照在镀铜过程中的功能划分,镀铜添加剂可分为三类:加速剂、抑制剂和整平剂,几乎所有镀铜添加剂体系中都至少同时含有加速剂与抑制剂两种。加速剂(又称光亮剂),其作用为减小极化,促进铜的沉积、细化晶粒;抑制剂(又称载运剂)能增加阴极极化,降低表面张力,协助光亮剂作用;整平剂可以抑制高电流密度区域铜的沉积,达到整平效果。现有技术CN108546967A公开了种电镀铜整平剂及其制备方法和应用,该电镀铜整平剂针对的是盲孔填孔电镀和通孔导电电镀的均一性,并不涉及到盲孔填孔率的提升和整平效果的改善。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有盲孔填孔的铜面平整性不佳,存在孔口空洞,填孔率不高的的缺陷和不足,提供一种电镀铜整平剂。

本发明的目的是提供一种电镀铜整平剂。

本发明上述目的通过以下技术方案实现:

一种电镀铜整平剂,所述电镀铜整平剂的化学结构式为式Ⅰ或式Ⅱ:

其中1≤n≤4,X=I、Br、Cl,0≤m≤5、1≤b≤3、m、n、b均为整数。

优选地,所述n=2或3。

优选地,所述n=2,X=I或Cl,R为-CH3、-CH2-CH=CH2

优选地,所述n=2,X=I或Cl,R为-CH3

优选地,所述n=2,X=Cl,R为-CH3、-CH2-CH=CH2

优选地,所述电镀铜整平剂为

一种电镀液,所述电镀液中含有所述整平剂,整平剂含量为0.01~100ppm。不同浓度配比的添加剂电镀液对盲孔填充性能是不一样的,本发明的含有整平剂的电镀液可实现盲孔完全填充.

优选地,所述整平剂含量为1~80ppm。

优选地,所述整平剂含量为40~50ppm,更优选为40ppm。

其中,本发明的电镀液中还包换加速剂和抑制剂,加速剂的用量优选为0.1~100ppm。

加速剂可为MPS和SPS,,更优选的用量为0.5~15ppm,最优用量为1~5ppm。例如可以为2ppm、4ppm或5ppm,更优选2ppm。

优选地,所述抑制剂的用量为40~1700ppm。

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