[发明专利]一种过滤装置及抽真空系统

说明书

本发明涉及单晶制造技术领域，具体地说是一种过滤装置及抽真空系统。一种过滤装置包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。本发明设置的除尘袋的过滤效果佳，其次通过清灰机构碰撞拍打过滤袋，能有效除去拉晶过程中产生的挥发物，使得拉晶中使用干泵成为可能，而对于拉晶中使用油泵的情况，能降低真空泵油的污染，极大的延长了真空泵的连续工作时间从而延长了单晶炉连续运行时间。

技术领域

本发明涉及单晶制造技术领域，具体地说是一种过滤装置及抽真空系统。

背景技术

直拉法是一种常见的单晶生长方法，其生长过程是在单晶炉中，将籽晶浸入熔体，依次实施引晶、放肩、转肩、等径及收尾环节，最后获得单晶棒。在拉晶的同时，往炉内引入保护气体、并设置真空泵进行抽吸。借助保护气体对晶体生长环境的吹扫作用，带走挥发物及氧化物等杂质，确保拉晶过程稳定及成品品质。

携带挥发物及氧化物等杂质的保护气体，即为拉晶尾气，一般先流经过滤装置除去杂质再进入真空泵。如此，能缓解杂质对真空泵抽吸效率的影响。随着光伏行业下游对于硅片低成本的需求日益加剧，拉晶环节的一种降成本思路是通过二次加料、连续加料等，缩短停炉清理工序所占比例、增加拉晶过程等径环节的产出。上述思路对拉晶工艺提出了更长时间运行的需求。现有的过滤装置仅利用单层滤网对拉晶尾气中的杂质进行拦截，因过滤能力有限导致进入真空泵的拉晶尾气洁净度不足。为了保持炉压、确保拉晶过程稳定，需要频繁地清理维护过滤装置或真空泵，难以适应单炉长时间运行的拉晶工艺需求。同时，真空泵中的干泵由于耗能低、且能提供更好的抽吸效果，具有取代现有技术中广泛使用的油泵的潜力。如若前道工序过滤能力有限，未彻底过滤掉的挥发物杂质易造成干泵堵塞。因此，过滤效果还是影响真空泵设备优化升级的瓶颈。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种过滤装置以解决上述背景技术中提出的问题。

第一方面，本发明提供的技术方案：一种过滤袋过滤装置，包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。

优选地，至少一个所述过滤袋沿所述罐体的高度方向设置，所述拍打板沿所述罐体高度方向的长度至少为所述过滤袋的长度的50％，

所述拍打板材料的弯曲刚度的工况转角θ大小为大于0°，且小于或等于45°。

优选地，所述拍打板沿垂直于所述罐体高度的方向的宽度，至少覆盖与之对应的所述过滤袋的宽度的30％。

优选地，所述过滤袋为多个，所述拍打板为至少一个，每个所述拍打板的转动范围内均对应设置多个所述过滤袋。

优选地，与所述拍打板对应设置的多个所述过滤袋，相对于所述拍打板等间隔分布。

优选地，所述清灰机构还包括与所述拍打板对应连接的至少一个转动轴，所述转动轴带动与之对应的所述拍打板转动。

优选地，所述清灰机构还包括机械连接的链轮和链条，所述链轮与所述转动轴机械连接，所述链条首尾相接、连接于多个所述链轮之间。

优选地，所述多个转动轴中，一个所述转动轴位于中心，其余所述转动轴围绕中心的所述转动轴设置，其余所述转动轴相对于位于中心的所述转动轴等角度分布。

第二方面，本发明提供的技术方案：一种抽真空系统，用于对单晶炉抽真空，包括抽真空装置和第一方面中任一所述的过滤装置，所述过滤装置连接于所述单晶炉与所述抽真空装置之间。

优选地，所述抽真空装置为油泵或干泵。