[发明专利]堆叠式空气滤网模块

说明书

本发明公开了一种堆叠式空气滤网模块，包含基底滤气单元以及至少一个附加滤气单元。基底滤气单元包含金属框以及至少一个第一滤气部，第一滤气部位于金属框的滤气通道内。至少一个附加滤气单元可拆卸地垂直叠合于基底滤气单元的上方，附加滤气单元包含框体以及第二滤气部，第二滤气部位于框体的滤气通道内。第一滤气部内含滤料的使用寿命高于第二滤气部内含滤料的使用寿命，借以减少或不更换基底滤气单元，而较常更换或只更换内含较短使用寿命滤料的附加滤气单元，使得空气滤网模块整体更换滤气单元的频率能减少。

技术领域

本发明是关于一种空气滤网模块，特别是关于一种无尘室系统的空气滤网模块。

背景技术

半导体与光电产业都需要大区域的无尘室空间，借以将其生产线置于无尘室中，进而达到所需的工艺要求。当无尘室系统的厂区日益庞大，其对应需求的空气过滤系统亦逐渐庞大，且对过滤效果的要求亦逐渐提高。

传统无尘室系统的厂区顶端前段的空气过滤系统大都以金属框架为基础，将滤气部填入金属框架中，再以胶体粘合确保气密。当滤气部使用一段时间失去效能后，再将金属框架与滤气部整体拆下，作后续的环保处理。

无尘室系统的空气过滤系统需定期更换数量庞大的空气滤网模块，空气滤网模块的成本与更换的人力成本均所费不赀。

发明内容

本发明提出一种创新的堆叠式空气滤网模块，以解决现有技术存在的问题。

在本发明的一实施例中，一种堆叠式空气滤网模块包含基底滤气单元以及至少一个第一附加滤气单元。基底滤气单元包含金属框以及至少一个第一滤气部，第一滤气部位于金属框的滤气通道内。第一附加滤气单元可拆卸地叠合于基底滤气单元的上方，附加滤气单元包含框体以及第二滤气部，第二滤气部位于框体的滤气通道内。第一滤气部内含滤料的使用寿命高于第二滤气部内含滤料的使用寿命。

在本发明的一实施例中，第一滤气部内含滤料的使用寿命高于第二滤气部内含滤料的使用寿命的二倍以上。

在本发明的一实施例中，金属框的滤气通道面积等于框体的滤气通道面积。

在本发明的一实施例中，堆叠式空气滤网模块还包含至少一个第二附加滤气单元，可拆卸地叠合于第一附加滤气单元上方，第二附加滤气单元包含第三滤气部，其中第二滤气部内含滤料的使用寿命高于第三滤气部内含滤料的使用寿命。

在本发明的一实施例中，框体的材质为金属。

在本发明的一实施例中，框体的材质为非金属防火材。

在本发明的一实施例中，框体包含金属外框以及非金属防火材内框，且金属框的滤气通道面积等于框体的滤气通道面积。

在本发明的一实施例中，非金属防火材内框的下表面与金属框的上表面具有彼此互补的气密接合介面。

在本发明的一实施例中，金属框包含多个滤气通道。

在本发明的一实施例中，金属框的高度大于或等于框体的高度。

综上所述，本发明的空气滤网模块包含基底滤气单元与附加滤气单元，基底滤气单元内含的滤料的使用寿命高于附加滤气单元内含滤料的使用寿命，借以减少或不更换基底滤气单元，而较常更换或只更换内含较短使用寿命滤料的附加滤气单元，使得空气滤网模块整体更换滤气单元的频率能减少。此外，空气滤网模块利用滤气单元之间的气密接合介面，无需胶材即能垂直叠合滤网单元，并具有防止滤网单元左右偏移的定位作用。

以下将以实施方式对上述的说明作详细的描述，并对本发明的技术方案提供更进一步的解释。

附图说明

为让本发明的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，现结合附图说明如下：