[发明专利]喷涂材料、喷涂部件和制造方法有效
| 申请号： | 201910414028.2 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110499486B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 高井康 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C4/04 | 分类号： | C23C4/04;C23C4/134 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷涂 材料 部件 制造 方法 | ||
1.一种喷涂材料，其包含复合颗粒，所述复合颗粒包含固结在一起的(A)稀土氟化物颗粒和(B)至少一种稀土化合物颗粒，所述稀土化合物选自稀土氧化物、稀土氢氧化物和稀土碳酸盐，其中所述复合颗粒不含有稀土氟氧化物。
2.权利要求1所述的喷涂材料，其中所述复合颗粒由5重量％至40重量％的颗粒(B)和余量的颗粒(A)构成，基于颗粒(A)和(B)的总重量。
3.权利要求1所述的喷涂材料，其含有基于颗粒(A)和(B)的总重量为0.05重量％至3重量％的有机粘合剂，所述有机粘合剂选自稀土有机化合物和有机聚合物。
4.权利要求1所述的喷涂材料，其水含量为2重量％以下。
5.权利要求1所述的喷涂材料，其平均颗粒尺寸为10μm至60μm。
6.权利要求1所述的喷涂材料，其比表面积为1.5m2/g至5m2/g。
7.权利要求1所述的喷涂材料，其堆密度为0.8g/cm3至1.4g/cm3。
8.权利要求1所述的喷涂材料，其中稀土元素为选自Y和从La至Lu的3族元素中的至少一种元素。
9.一种喷涂部件，包括基材和设置在其上的喷涂涂层，所述喷涂涂层包括通过等离子喷涂权利要求1的喷涂材料而形成的喷涂层。
10.权利要求9所述的喷涂部件，其中所述喷涂层的厚度为150μm至350μm。
11.权利要求9所述的喷涂部件，其中所述喷涂层含有作为主相的稀土氟氧化物相和作为辅助相的除稀土氟氧化物以外的稀土化合物相。
12.权利要求11所述的喷涂部件，其中作为主相的稀土氟氧化物是Re5O4F7，其中Re是包括Y的稀土元素。
13.权利要求11所述的喷涂部件，其中除稀土氟氧化物以外的稀土化合物包含稀土氧化物和稀土氟化物两者。
14.权利要求9所述的喷涂部件，其中所述喷涂层具有200℃下的体积电阻率和23℃下的体积电阻率，23℃下的体积电阻率与200℃下的体积电阻率之比的范围为0.1至30。
15.权利要求9所述的喷涂部件，其中所述稀土元素为选自Y和从La至Lu的3族元素中的至少一种元素。
16.一种喷涂部件，包括基材和设置在其上的喷涂涂层，所述喷涂涂层包括底涂层和通过大气等离子喷涂权利要求1的喷涂材料而形成的喷涂层，所述喷涂层至少构成最外层。
17.权利要求16所述的喷涂部件，其中所述底涂层由单层或多层组成，每层选自稀土氟化物层和稀土氧化物层。
18.一种喷涂部件的制备方法，包括通过大气等离子喷涂权利要求1的喷涂材料在基材上形成喷涂层的步骤。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
