[发明专利]晶舟夹取机构

说明书

为了解决夹取机构向下夹取晶舟时常发生夹取不到或者碰伤晶舟的技术问题，本发明提供了一种包括丝杆步进电机、轴套、连接轴、两根轴杆和一对夹持臂的晶舟夹取机构，连接轴与丝杆轴垂直，轴套在沿丝杆轴升降时带着连接轴一起升降；两根轴杆与连接轴平行并分别设于连接轴的两侧，轴杆的一端设置有活动套装在连接轴上的连接板；一对夹持臂分别固定于两根轴杆的另一端；每个夹持臂中均设置有拨杆开关，拨杆开关的拨杆向下延伸至夹持臂的下方。丝杆步进电机和轴套带动一对夹持臂向内旋转收缩、向外旋转打开，不仅能够稳固地夹持晶舟，而且拨杆开关在夹持机构下行之前始终位于晶舟的上方，能有效识别晶舟的位置和高度。

技术领域

本发明设计半导体制造技术领域，主要是涉及晶圆制造设备，特别是用于晶舟夹取机构。

背景技术

在半导体产业的制造工厂中通常配置有多台的湿式工艺设备用于批次式的处理大量的晶圆。为了因应电子产品的种类会使用不同形状和尺寸的晶圆或基板。因此在进行湿式工艺时，使用的晶舟(cas sette)种类也会有所不同。举例来说，当以4寸或6寸的基板进行湿式工艺时，一般采用对应尺寸的晶舟来承载基板。

现有的晶舟夹取机构是采用以垂直于晶舟方向的夹持力来夹持晶舟，但是在实际使用中发现，夹取机构向下夹取晶舟常发生夹取不到或者碰伤晶舟的情况，究其原因，与夹取机构在下行之前不能有效识别晶舟的位置和高度有关。

有鉴于此，有必要提出一种晶舟夹取机构，用以解决现有技术中存在的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种可在夹取下行之前或者过程中能有效识别晶舟的位置和高度的晶舟夹取机构。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：

晶舟夹取机构，包括丝杆步进电机、轴套、连接轴、两根轴杆和一对夹持臂，所述轴套安装在所述丝杆步进电机的丝杆轴上，所述连接轴与所述丝杆轴垂直，所述轴套在沿所述丝杆轴升降时带着所述连接轴一起升降；两根轴杆与所述连接轴平行并分别设于所述连接轴的两侧，所述轴杆的一端设置有活动套装在所述连接轴上的连接板；一对夹持臂分别固定于两根轴杆的另一端；每个夹持臂中均设置有拨杆开关，所述拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。

在本技术方案中，丝杆步进电机作为动力源带动轴套上升或者下降，连接轴随轴套上升或者下降；当丝杆步进电机的丝杆轴朝上时，连接轴上升带动两根轴杆向内旋转，即两个夹持臂向内旋转与晶舟的夹取孔位脱离，连接轴下降带动两根轴杆向外旋转，即两个夹持臂向外旋转卡入晶舟的夹持孔位中。两个夹持臂向内旋转的角度为7°-8°之间，拨杆开关在不夹取状态下也基本位于晶舟的正上方，因此，拨杆开关能够在夹取下行之前或者过程中能有效识别晶舟的位置和高度。

在一个实施例中，所述夹持臂由两块与所述轴杆固定的夹板组成。

进一步的是，所述拨杆开关位于两块夹板之间；所述拨杆开关的外部设置对其主体密封保护的壳体。

进一步的是，所述夹板由通过螺栓固连的上板和下板组成，所述上板固定在所述轴杆上，下板的外侧设置有用于卡扣在晶舟中卡扣件。

在一个实施例中，所述丝杆步进电机的旁侧设置有光电开关，所述轴套上设置有与所述光电开关配合使用的定位挡片。

在一个实施例中，所述丝杆步进电机固定在一块底板上，该底板上设置有两个平行的轴承座，所述轴杆插入所述轴承座的轴承孔内。

进一步的是，所述底板上安装有保护所述丝杆步进电机的罩壳。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.本发明采用丝杆步进电机和轴套带动一对夹持臂向内旋转收缩、向外旋转打开，不仅能够稳固地夹持晶舟，而且拨杆开关在夹持机构下行之前始终位于晶舟的上方，实现了在夹取下行之前或者过程中有效识别晶舟的位置和高度的目的。