[发明专利]增强多层干涉镜的耐用性和可制造性的方法在审
| 申请号: | 201910314761.7 | 申请日: | 2019-04-18 |
| 公开(公告)号: | CN110388908A | 公开(公告)日: | 2019-10-29 |
| 发明(设计)人: | S.C.阿尔伯斯;D.E.约翰逊;R.兰伯格;L.弗里泽 | 申请(专利权)人: | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号: | G01C19/66 | 分类号: | G01C19/66 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 马蔚钧;万雪松 |
| 地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 折射率光学材料 光学材料层 可制造性 干涉镜 耐用性 多层 环形激光陀螺仪 保护性材料 多层镜 外涂层 最外层 基底 | ||
【权利要求书】:
1.环形激光陀螺仪,其包括:
激光区块组件;
所述激光区块组件中的腔;和
所述腔中的多个多层镜,其中所述多个多层镜中的至少一个多层镜包括:
高折射率光学材料和低折射率光学材料的多个交替层;
设置在所述多个交替层上的光学材料耐用性层;和
在所述耐用性层的最外表面上的保护性材料的外涂层。
2.根据权利要求1所述的环形激光陀螺仪,其中所述耐用性层包括氧化铝材料层。
3.根据权利要求1所述的环形激光陀螺仪,其中所述保护性材料的外涂层包括SiO2材料涂层。
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