[发明专利]基板研磨系统

权利要求书

1.一种基板研磨系统，用于对包括第一基板和第二基板在内的多个基板进行研磨工序，其特征在于，包括：

研磨垫，其套于研磨盘上；

多个基板承载架，其包括第一基板承载架和第二基板承载架，所述第一基板承载架以搭载第一基板的状态移动，在所述研磨垫上，以将所述第一基板接触于所述研磨垫的状态进行研磨工序，所述第二基板承载架以搭载第二基板的状态移动，在所述研磨垫上，以将所述第二基板接触于所述研磨垫的状态进行研磨工序，所述多个基板承载架分别沿规定路径独立地移动的同时，在所述研磨垫上进行所述研磨工序；

监控单元，其识别所述基板承载架，并对包括位置在内的信息进行监控，

在存储器中，针对所述基板承载架中可能发生的错误，分类成包括致命错误组和普通错误组在内的2个以上的错误组进行存储，当所述基板承载架的位置和运转中的一个以上发生一次属于所述致命错误组的错误时，将发生错误的基板承载架排除在新供应的基板的搭载范围之外，所述致命错误组是即使发生1次错误也将基板承载架排除在外的错误组，所述普通错误组是只有发生2次以上错误才将基板承载架排除在外的错误组。

2.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其特征在于，

在所述基板承载架上配备识别符，所述监控单元通过所述识别符识别所述基板承载架。

3.根据权利要求2所述的基板研磨系统，其特征在于，

沿着所述基板承载架的移动路径配置有多个所述监控单元，以感测所述基板承载架的位置。

4.根据权利要求3所述的基板研磨系统，其特征在于，

所述监控单元在进行所述研磨工序的所述研磨垫上侧的第一位置，感测所述识别符。

5.根据权利要求3所述的基板研磨系统，其特征在于，

还包括显示装置，所述显示装置显示被所述监控单元监控的所述基板承载架的信息。

6.根据权利要求5所述的基板研磨系统，其特征在于，

所述显示装置按照所识别的所述基板承载架分别显示信息。

7.根据权利要求6所述的基板研磨系统，其特征在于，

在所述显示装置中显示的所述信息包括基板承载架的位置信息、基板承载架的运转状态、搭载于基板承载架的基板信息、连接于基板承载架的研磨头的运转状态中的任意一种以上。

8.根据权利要求6所述的基板研磨系统，其特征在于，

所述显示装置中显示的所述信息包括：在所述基板承载架移动并进行基板研磨工序的研磨单元的布局图上显示的所述基板承载架的信息。

9.根据权利要求3所述的基板研磨系统，其特征在于，

还包括所述存储器，所述存储器存储被所述监控单元监控的所述基板承载架的信息。

10.根据权利要求9所述的基板研磨系统，其特征在于，

在所述存储器中，按所述基板承载架分别存储有通过所述监控单元而获得的监控数据。

11.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其特征在于，

所述致命错误组包括基板承载架和对接机构的对接状态的错误。

12.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其特征在于，

所述普通错误组包括：在研磨工序中由研磨头对基板加压的加压力的错误、在研磨工序中的研磨头的旋转速度错误、在进行研磨工序的第一位置超出允许范围的位置错误中的任意一种以上。

13.根据权利要求1所述的基板研磨系统，其特征在于，还包括：

所述存储器，其将所述研磨工序进行过程中的基板承载架的位置信息和运转信息存储为基准数据；

控制单元，将由所述监控单元感测的所述基板承载架的感测位置及运转状态与所述基准数据对比，从而感测所述基板承载架的错误。