[发明专利]物理参数估计方法、装置和电子设备

权利要求书

1.一种物理参数估计方法，包括：

读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图；

获取所述牛顿环条纹图的第一方向信号个数和第一方向信号长度；

针对每个所述第一方向信号，基于所述第一方向信号长度范围内的每个第一调频率参数，对所述第一方向信号进行离散线性调频傅里叶变换，以获得所述牛顿环条纹图的每个第一方向信号在每个第一调频率参数下的第一方向像素集合的强度分布信号在离散线性调频傅里叶变换域中的第一幅度谱，所述第一方向像素集合包括第一方向中的一排像素，所述第一方向为所述牛顿环条纹图的行方向和列方向之一；

基于所述第一幅度谱确定第一幅度峰值所对应的第一调频率参数和第一频率参数；以及

至少根据所述第一幅度峰值对应的所述第一调频率参数和所述第一频率参数来估计所述干涉测量中涉及的物理参数。

2.如权利要求1所述的物理参数估计方法，进一步包括：

获取所述牛顿环条纹图的第二方向信号个数和第二方向信号长度；

针对每个所述第二方向信号，基于所述第二方向信号长度范围内的每个第二调频率参数，对所述第二方向信号进行离散线性调频傅里叶变换，以获得所述牛顿环条纹图的每个第二方向信号在每个第二调频率参数下的第二方向像素集合的强度分布信号在离散线性调频傅里叶变换域中的第二幅度谱，所述第二方向像素集合包括第二方向中的一排像素，所述第二方向为所述牛顿环条纹图的行方向和列方向中的另外一个；

基于所述第二幅度谱确定第二幅度峰值所对应的第二调频率参数和第二频率参数；以及

至少根据所述第一幅度峰值对应的第一调频率参数和第一频率参数、以及所述第二幅度峰值对应的第二调频率参数和第二频率参数来估计所述干涉测量中涉及的物理参数。

3.如权利要求2所述的物理参数估计方法，其中，至少根据所述第一幅度峰值对应的第一调频率参数和第一频率参数、以及所述第二幅度峰值对应的第二调频率参数和第二频率参数来估计所述干涉测量中涉及的物理参数包括：

将所述第一方向信号长度的平方乘以第一方向采样点间距平方再除以所述牛顿环条纹图对应的入射光波长与所述第一调频率之积以计算出牛顿环在第一方向上的半径；以及

将所述第一方向信号长度乘以所述第一频率参数乘以第一方向采样点间距再除以二与所述第一调频率之积的负数计算为牛顿环的中心在第一方向的坐标。

4.如权利要求3所述的物理参数估计方法，其中，至少根据所述第一幅度峰值对应的第一调频率参数和第一频率参数、以及所述第二幅度峰值对应的第二调频率参数和第二频率参数来估计所述干涉测量中涉及的物理参数进一步包括：

将所述牛顿环在第一方向与第二方向上的半径之和除以二计算为产生所述牛顿环的平凸透镜的曲率半径。

5.如权利要求1所述的物理参数估计方法，其中，所述离散线性调频傅里叶变换的采样频率的分母为采样点数目。

6.如权利要求1所述的物理参数估计方法，其中，在读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图之后，进一步包括：

从所述牛顿环条纹图中去除背景强度。

7.如权利要求6所述的物理参数估计方法，其中，在从所述牛顿环条纹图中去除背景强度之后，进一步包括：

将去除所述背景强度之后的牛顿环条纹图中的所述第一方向像素集合的强度分布信号从实数形式转换为复数形式。

8.如权利要求1所述的物理参数估计方法，其中，在至少根据所述第一幅度峰值对应的所述第一调频率参数和所述第一频率参数来估计所述干涉测量中涉及的物理参数之后，进一步包括：

将所述估计出的物理参数作为最小二乘法的初始值，使用所述牛顿环条纹图的强度分布模型和所述牛顿环条纹图中的像素强度值来对所述物理参数进行修正。