[发明专利]一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法

权利要求书

1.一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，利用流延制膜机将液态硅橡胶溶液均匀地涂覆在PET薄膜上，形成一层硅橡胶膜，并加热使其固化，这一层材料为作动器的底层绝缘封装层；

步骤2，用激光切割机在PET薄膜或者离型纸上切割出多个作动器电极的形状，以此作为制作电极层时的掩膜版；

步骤3，将掩膜版紧密贴合在硅橡胶膜表面，然后利用流延制膜机将配置好的液态导电材料均匀地涂覆在掩膜板和硅橡胶膜的表面形成电极层，或者利用喷笔将液态导电材料均匀地喷涂在掩膜板和硅橡胶膜表面形成电极层；电极层制作好后将掩膜板揭下，并加热使揭下掩膜板后的部分固化；

步骤4，然后再在电极层上面流延一层硅橡胶薄膜，以此形式重复叠加，得到一块包含多个堆栈式作动器的硅橡胶，最后流延的一层硅橡胶薄膜为作动器顶层绝缘封装层；

步骤5，用切刀沿电极边缘切割得到多个作动器；给正负极引电极导线并用导电胶水粘牢，完成堆栈式介电弹性体作动器的制作。

2.根据权利要求1所述的一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，其特征在于，步骤1中硅橡胶膜的厚度通过流延制膜机的刮刀高度调整。

3.根据权利要求1所述的一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，其特征在于，步骤3中，通过流延涂覆方法得到的电极层，其材料由导电颗粒与硅橡胶以1:4的质量比进行混合后得到。

4.根据权利要求1所述的一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，其特征在于，步骤3中，通过喷笔喷涂方法得到的电极层，其材料由导电颗粒与异丙醇以1:54的质量比进行混合后得到。

5.根据权利要求1所述的一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，其特征在于，步骤4中，所有的电极层正负极交替排列，且同极性的引出端排布在作动器的同侧，并用导电银胶并联连通。

6.根据权利要求1所述的一种堆栈式介电弹性体作动器制作方法，其特征在于，步骤5中，堆栈式介电弹性体作动器的上下表面均带有绝缘封装层。