[发明专利]一种夹具装置

说明书

本发明公开了一种夹具装置，属于面板制造夹具领域，包括：基座以及与基座连接的支撑部，还包括套在支撑部上端的夹具，所述支撑部包括位于其一端且与所述基座连接的第一连接体、延伸方向与第一连接体相反的第二支撑体以及位于其另一端的第三连接体；所述夹具套在第三连接体的端部，且夹具覆盖第三连接体的顶部，通过夹具包裹支撑部，使得在溅镀成膜的过程中，仅夹具会产生覆膜，支撑部不会产生覆膜问题，在进行替换时，仅需要更换夹具部分，同时改变了夹具和支撑部的连接方法，让夹具在更换时操作更加方便，更加省时，从而提升生产效率。

技术领域

本发明属于夹具的技术领域，尤其涉及一种夹具装置。

技术背景

在液晶显示面板制造过程中，尤其是阵列基板制造过程中，物理气相沉积是其中重要的一个步骤，现阶段，一台物理气相沉积设备包括六个基板支撑托盘，每个基板支撑托盘上安装有二十四到二十六个夹具装置，基板支撑托盘承载玻璃基板完成镀膜工艺，夹具装置在这个过程中起到固定玻璃基板的作用。

在溅镀成膜的过程中，夹具装置也会被覆膜，因此需要定期更换，以防止在基板溅镀成膜过程中，夹具装置表面覆膜的剥落发尘导致面板的成膜出现异物、电弧、飞溅等不良的问题产生。

现有的夹具装置如图1所示，包括：基座1、与基座1连接的支撑部2以及与支撑部2连接的夹具3，夹具3在支撑部2上可以上下移动，调整夹具2的高度，调整到要求的高度时，通过螺丝4将夹具3固定在支撑部2上。夹具装置在溅镀成膜的过程中，不仅夹具3容易产生覆膜问题，支撑部2同样会产生覆膜问题，同样会造成面板的成膜问题。

每个夹具装置从拆除到安装调试需要花费三分钟，需要将基座、支撑部和夹具同时拆除，对整个基板支撑托盘上的夹具装置进行更换，时间非常长，并且一个基板支撑托盘上的每个夹具装置需要联合工作，夹具装置之间的高度差会导致面板的破片等问题。

现有的夹具装置在进行溅镀成膜时，需要用悬浮掩膜板对夹具装置进行保护，因此夹具装置需要处于悬浮掩膜板的不透光区下，因此增加了悬浮掩膜板的不透光区的面积，降低了气相沉积设备的有效成膜面积。

发明内容

本发明提供了一种简单拆卸和安装的夹具装置，通过夹具包裹支撑部，使得在溅镀成膜的过程中，仅夹具会产生覆膜，支撑部不会产生覆膜问题，在进行替换时，仅需要更换夹具部分，同时改变了夹具和支撑部的连接方法，让夹具在更换时操作更加方便，更加省时，从而提升生产效率。

一种夹具装置，包括基座以及与基座连接的支撑部，还包括套在支撑部上端的夹具，所述支撑部包括位于其一端且与所述基座连接的第一连接体、延伸方向与第一连接体相反的第二支撑体以及位于其另一端的第三连接体；所述夹具套在第三连接体的端部，且夹具覆盖第三连接体的顶部。

优选的，所述第三连接体设有位于其至少一侧边的导轨，所述夹具设有包裹所述导轨的导向槽。

优选的，所述第三连接体设有位于其一侧边的第一导轨以及位于其另一侧边的第二导轨；所述夹具设有包裹所述第一导轨的第一导向槽以及包裹所述第二导轨的第二导向槽。

优选的，所述第三连接体还设有连接第一导轨和第二导轨的连接板以及位于连接板上的长槽；所述夹具设有组装在所述长槽内的长挡体。

优选的，所述夹具包括上表面、由上表面一端向下垂直连接的第一侧面、由上表面另一端向下垂直连接且与第一侧面相对设置的第二侧面、由上表面一侧向下垂直连接且位于第一侧面和第二侧面之间的第三侧面以及由上表面底部向下延伸且位于第一侧面和第二侧面之间的中间体；其中所述长挡体位于所述中间体的侧面，所述第一导向槽由上表面、第一侧面、中间体和第三侧面包围形成，所述第二导向槽由上表面、第二侧面、中间体和第三侧面包围形成。