[发明专利]校正方法及装置、修阻方法及修阻机

说明书

本申请的实施例提供了一种校正方法，包括：根据修阻机构的位置位于第一位置，以及根据所述修阻机构需要位于的目标位置，将所述修阻机构的位置从所述第一位置调整到与所述目标位置匹配的第二位置；根据所述第一位置和所述第二位置，为所述修阻机构的修阻产生的误差确定出补偿值。根据修阻机构在指令下到达的第一位置与指令确定的目标位置之间的差距将修阻机构调整到满足精度要求的第二位置，得到调整的差值，即第一位置和第二位置之间的差值，将差值作为对修阻机构的补偿值，在修阻机构执行指令时，结合补偿值进行对指令的执行，从而实现对修阻机构的精度的调整。这样的方式很方便，而且不需要直接对修阻机构进行调整，适用性比较好。

技术领域

本申请涉及电阻制备技术领域，具体而言，涉及一种校正方法及装置、修阻方法及修阻机。

背景技术

目前，现有的对修阻机精度进行误差校正的方式中，通常采用对修阻机直接进行校正的方式，采用直接校正的方式，需要在每次使用都需要将修阻机构调整到其准确的位置，这种校正比较繁琐，适用性很差。

发明内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种校正方法及装置、修阻方法及修阻机，以改善目前修阻机构的校正比较繁琐，导致适用性很差的问题。

为了实现上述目的，本申请的实施例通过如下方式实现：

第一方面，本申请的实施例提供了一种校正方法，包括：根据修阻机构的位置位于第一位置，以及根据所述修阻机构需要位于的目标位置，将所述修阻机构的位置从所述第一位置调整到与所述目标位置匹配的第二位置；根据所述第一位置和所述第二位置，为所述修阻机构的修阻产生的误差确定出补偿值。

在本申请实施例中，根据修阻机构在指令下到达的第一位置与指令确定的目标位置之间的差距将修阻机构调整到满足精度要求的第二位置，得到调整的差值，即第一位置和第二位置之间的差值，将差值作为对修阻机构的补偿值，在修阻机构执行指令时，结合补偿值进行对指令的执行，从而实现对修阻机构的精度的调整。这样的方式很方便，而且不需要直接对修阻机构进行调整，适用性比较好。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实现方式中，在所述修阻机构为修阻机上的运动平台时，所述根据修阻机构的位置位于第一位置，以及根据所述修阻机构需要位于的目标位置，将所述修阻机构的位置从所述第一位置调整到与所述目标位置匹配的第二位置，包括：根据所述运动平台沿运动方向需要运动到的所述目标位置，控制所述运动平台沿运动方向运动至所述第一位置；在确定所述第一位置与所述目标位置差异大于第一误差阈值时，控制所述运动平台沿所述运动方向运动以调整所述运动平台的位置；在确定所述运动平台调整后的位置位于与所述目标位置之间的差异小于第一误差阈值的所述第二位置时，确定对所述运动平台在所述运动方向上的调整结束。

在本申请实施例中，通过在对运动平台的校正过程中，根据运动平台的目标位置，校正运动平台运动到的第二位置。在第二位置满足与目标位置的精度要求时，根据第一位置与第二位置之间的误差确定出运动平台的补偿值。通过确定出运动平台的补偿值的方式，能够更方便地校正运动平台，运动平台的精度也能够得到有效的保证，且使得运动平台的精度能够保持较长时间。

结合第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，在所述控制所述运动平台沿运动方向运动至所述第一位置之后，以及，在控制所述运动平台沿所述运动方向运动以调整所述运动平台的位置之前，所述方法还包括：获得所述第一位置的在第一参考坐标系中的第一坐标；确定出所述目标位置在所述第一参考坐标系中的目标坐标和所述第一坐标之间的差异为第一坐标差异值；在所述第一坐标差异值大于第一误差阈值时，执行步骤：控制所述运动平台沿所述运动方向运动以调整所述运动平台的位置。

在本申请实施例中，通过确定出第一位置与目标位置之间的在同一坐标参考系中的差值，能够准确地确定出第一位置与目标位置之间的差异值，从而能够更有效地校正运动平台的精度，从而保证修阻机的精度。