[发明专利]一种合金钢基体上溅射Ta涂层的化学去除方法有效

专利信息
申请号: 201910084262.3 申请日: 2019-01-29
公开(公告)号: CN109576709B 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 牛云松;朱圣龙;王福会;陈明辉 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所;东北大学
主分类号: C23F1/38 分类号: C23F1/38
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 于晓波
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 合金钢 基体 溅射 ta 涂层 化学 去除 方法
【说明书】:

一种合金钢表面溅射Ta涂层的化学去除方法,属于Ta涂层的去除技术领域。化学去除液的配方为:NaOH:400~500g/L,NaNO2:1~10g/L,D‑葡萄糖酸钠:3~5g/L;涂层去除方法为:将化学去除液加热,使化学去除液温度保持在110~130℃范围内,然后将有溅射Ta涂层的合金钢零件,浸没在化学去除液中,待Ta涂层完全去除后,在热水中清洗干净零件并用干燥热风吹干零件。本发明的Ta镀层化学去除液,可以完全去除Ta涂层,对合金钢基体几乎无损害,而且配置方法简单,使用方便,成本低廉。

技术领域

本发明涉及Ta涂层的去除技术领域,具体涉及一种合金钢基体上溅射Ta涂层的化学去除方法。

背景技术

Ta涂层由于具有出色的耐磨耐蚀性、优良的抗烧蚀性及优异的化学稳定性,近年来受到广泛的关注,在血管内外科手术、生物医用骨材料、矫形外科方面及枪炮管内壁抗烧蚀方面都有很好的应用前景。其制备方法有溅射、喷涂及化学气相沉积等。但是,当涂层涂镀效果不佳、有磕碰伤或者涂层退化需重新涂镀时,需要一种简单快速的方法将其脱除,而且最好对合金基体没有损害。

发明内容

本发明的目的在于提供一种合金钢基体上溅射Ta涂层的化学去除方法,该方法可以较快的脱除Ta涂层,而且对合金钢基体无损害。

为实现上述目的,本发明所采用的技术方案如下:

一种合金钢基体上溅射Ta涂层的化学去除方法,该方法是采用化学去除液除去合金钢基体上溅射的Ta涂层,所述化学去除液的组成如下:

所述化学去除液优选的组成如下:

采用所述化学去除液除去Ta涂层的过程如下:

将所述化学去除液加热至,然后将溅射有Ta涂层的合金钢零件浸没在化学去除液中,保持化学去除液的温度为110~130℃;待Ta涂层完全去除后,取出零件,在热水(80-100℃)中清洗干净,然后用干燥热风吹干零件。

本发明方法的设计机理及有益效果如下:

1、本发明采用特定配方的镀层去除液,并在特定温度110~130℃的作用下,通过NaOH与Ta发生化学反应,将Ta溶解在溶液中。利用适量的NaNO2和D-葡萄糖酸钠在碱溶液中的缓蚀效果,使得涂镀不佳处的合金钢基体起缓蚀效果,并且与Ta的反应过程平稳缓和,对合金钢基体几乎无损害,可在实际应用中较为方便的完全去除Ta涂层。

2、本发明镀层去除液的配置方法简单,使用方便,成本低廉。

具体实施方式

以下结合实施例详述本发明。

实施例1

基体采用32CrNi3MoVA,试样尺寸为15mm×10mm×2mm,在样品上溅射一层α-Ta涂层,涂层厚度为50μm。将带有涂层的样品浸入50mL的镀层去除液中,本实施例去除液配方如下:

NaOH:21.5g,NaNO2:0.125g,D-葡萄糖酸钠:0.21g,水为50mL,处理时溶液温度为120℃。涂层样品浸入镀层去除液处理约36小时后,镀层完全去除。经检测,合金钢表面无腐蚀。

实施例2

基体采用304不锈钢,试样尺寸为15mm×10mm×2mm,在样品上溅射一层α-Ta涂层,涂层厚度为70μm。将样品浸入50mL的镀层去除液中,去除液配方如下:NaOH:23g,NaNO2:0.15g,D-葡萄糖酸钠:0.2g,水为50mL,溶液温度为115℃。涂层样品浸入镀层去除液处理约48小时后,镀层完全去除,合金钢表面无腐蚀。

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