[发明专利]一种适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统

权利要求书

1.一种适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统，包括通入前驱体气体的流通管道，其特征在于，该流通管道的进气端端面上开设有若干进气孔，出气端端面分隔为数量与进气孔数量相匹配的出气孔，流通管道的内腔分隔为数量与出气孔数量一致的独立流道；每个出气孔与相对应的一个或多个进气孔通过位于流通管道内的对应独立流道相连通，各独立流道呈“喇叭状”，由进气孔侧向出气孔侧，内径逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统，其特征在于，所述出气孔为矩形，独立流道的出气孔侧的端部为长宽与出气孔长宽一致的矩形，相邻两出气孔之间通过倒角连接。

3.根据权利要求2所述的适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统，其特征在于，独立流道的进气孔侧与两个以上进气孔连通，与同一独立流道连通的各进气孔位于同一行或同一列。

4.根据权利要求1所述的适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统，其特征在于，所述出气孔为圆形，独立流道的出气孔侧的端部为直径与出气孔直径一致的圆形，各出气孔相交或相切。

5.根据权利要求4所述的适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统，其特征在于，独立流道的进气孔侧与两个以上进气孔连通，与同一独立流道连通的各进气孔位于同一行或同一列。