[发明专利]无铁磁性、高强度、强立方织构镍钨复合基带及制备方法有效
| 申请号: | 201910054619.3 | 申请日: | 2019-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN109811310B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
| 发明(设计)人: | 刘琳霞;刘潇;王国祥;王莹 | 申请(专利权)人: | 河南工学院 |
| 主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C22F1/10;C22F1/02 |
| 代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 郭智 |
| 地址: | 453003 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 铁磁性 强度 立方 织构镍钨 复合 基带 制备 方法 | ||
1.一种无铁磁性、高强度、强立方织构镍钨复合基带,包括带材基体和用磁控溅射的方法沉积在该带材基体表面上的一层Ni-9at.%W合金薄膜,所述带材基体是Ni-12at.%W铸锭经热轧、冷轧及再结晶处理后得到的带材,该带材的厚度为50μm,所述Ni-9at.%W合金薄膜的厚度为5nm~20nm。
2.一种如权利要求1所述的无铁磁性、高强度、强立方织构镍钨复合基带的制备方法,包括以下步骤:
(1)合金铸锭的热轧
将采用熔炼获得的Ni-12at.%W镍钨合金铸锭热轧,热轧工艺为:开轧温度为1280℃~1310℃,终轧温度为1000℃~1030℃,热轧变形量为89%~92%;
(2)热轧板的冷轧及再结晶热处理
将所得到的热轧板进行冷轧,轧至厚度为50μm,然后将冷轧带材在纯氢气中进行再结晶热处理,再结晶热处理工艺为:1280℃~1320℃保温5min;以及
(3)溅射薄膜
在上述得到的Ni-12at.%W再结晶带材表面采用磁控溅射的方法沉积一层Ni-9at.%W合金薄膜,沉积工艺为:以熔炼法制备的Ni-9at.%W合金铸锭为靶材,溅射功率为190W~210W,薄膜厚度为5nm~20nm。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其中,在步骤(2)中,再结晶热处理工艺为:1300℃保温5min。
4.根据权利要求2所述的制备方法,其中,在步骤(3)中,所述熔炼法为真空感应熔炼法。
5.根据权利要求2所述的制备方法,其中,在步骤(3)中,所述溅射功率为200W。
6.根据权利要求2所述的制备方法,其中,在步骤(3)中,所述薄膜厚度为8nm。
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